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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS 226 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.293: ► Entfernen Sie die unteren Sicherungsschrauben (7) am Vakuumventil Y6. Lockern S…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 225
Einbauposition der Die-Attach-Unit im SWS
Abb.291: Befestigungsschrauben
Die Die-Attach-Unit wird wie folgt mit drei Schrauben (M5x16) an der Grundplatte des SWS ver-
schraubt!
Abb.292:
► Setzen Sie die Die-Attach-Unit vorsichtig in diese Position!
► Die Transfer-X-Achse darf nicht mit dem Laufring der Flip-Unit zusammenstoßen!
► Ziehen Sie die Transfer-X-Achse zurück und setzen Sie die Die-Attach-Unit auf die Grundplat-
te.
VORSICHT
Wenn Sie die Die-Attach-Unit auf die Grundplatte setzen beachten Sie folgende
Punkte:
► Halten Sie die Transfer-X-Achse zurück.
► Setzen Sie die Die-Attach-Unit auf die Grundplatte des SWS und richten Sie die Die-
Attach-Unit an den Verschraubpositionen aus.
► Setzen Sie vorsichtig die Transfer-X-Achse in den Laufring des Flip-Kopfes (Aus-
schnitt im Laufring).
ð Andernfalls kann die X-Achse beschädigt werden.
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Abb.293:
► Entfernen Sie die unteren Sicherungsschrauben (7) am Vakuumventil Y6. Lockern Sie die
obere Schraube (8) und drehen Sie das Ventil Y 6 (11) um die Position der Sicherungsschrau-
ben Nr.1(12) (M5x16) um Die-Attach-Unit zugänglich zu machen.
► Setzen Sie die Die-Attach-Sicherungsschraube ein, aber ziehen Sie diese noch nicht fest.
Abb.294:
► Setzen Sie Sicherungsschraube Nr. 2 (M5x16) der Die-Attach-Unit ein und ziehen Sie diese
leicht fest.
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Abb.295:
► Setzen Sie Sicherungsschraube Nr. 3 (M5x16) der Die-Attach-Unit ein und ziehen Sie diese
leicht fest.
► Prüfen Sie, ob die Transfer-X-Achse der Die-Attach-Unit leichtgängig von Hand bewegt wer-
den kann.
– Falls nicht oder wenn der Rachen der X-Achse leicht verdreht ist, dann lockern Sie alle
drei Sicherungsschrauben noch einmal.
– Verschieben Sie die Die-Attach-Unit und drücken Sie diese herunter. Ziehen Sie die drei
Sicherungsschrauben schrittweise fest.
– Manchmal hängt die Die-Attach-Unit am Zentrierbolzen fest. Diese ist dann leicht gekippt
und kann nicht vollständig auf die Grundplatte herunter gesetzt werden. In diesem Fall ist
der Rachen der Transfer-X-Achse nicht korrekt ausgerichtet.
– Ziehen Sie nun alle drei Sicherungsschrauben der Die-Attach-Unit an.
– Verschieben Sie die Transfer-X-Achse von Hand.
Wenn der Rachen den Laufring des Flip-Kopfes berührt, dann lockern Sie die drei Siche-
rungsschrauben der Die-Attach-Unit.
Verschieben Sie die Die-Attach-Unit und drücken Sie diese herunter.
Ziehen Sie die drei Sicherungsschrauben dann schrittweise fest.
Manchmal hängt die Die-Attach-Unit am Zentrierbolzen fest und kann nicht vollständig auf
die Grundplatte herunter gesetzt werden.