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12 Wafer-Stretcher 12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 317 Hubring bei 8“-Waferstretcher entfernen Der Hubring für die jeweilige Waferaufnahme muss ausgetau…
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
316 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Klemmung lösen
Abb.441:
► Entfernen Sie den Sprengring an der Welle (2) der Klemmung (1).
► Hängen Sie die Klemmung aus, so dass der Klemmhebel (3) frei ist (4).
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 317
Hubring bei 8“-Waferstretcher entfernen
Der Hubring für die jeweilige Waferaufnahme muss ausgetauscht werden.
Abb.442: Wafer-Aufnahme - Hubring ausbauen
► Entfernen Sie die vier Schrauben (1) (Fixierung des Hubringes).
► Entnehmen Sie die Fixierscheibe (2) und die Feder (3). Achten Sie darauf, dass Sie die Fixier-
scheibe (2) und die Feder (3) für den späteren Wiedereinbau nicht verlieren.
► Stecken Sie die beiden Sensoren (4) am Stecker (5) der Kabelverlängerung (6) ab.
► Entnehmen Sie den Hubring.
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318 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Sensoren beim 8" Hubring demontieren
Bei der 8" Waferaufnahme sind die beiden Sensoren am Hubring befestigt. Diese Sensoren müs-
sen für den späteren Wiedereinbau vom 8" Hubring demontiert werden. Bei der 12" Waferaufnah-
me werden die beiden Sensoren mit Hilfe der mitgelieferten Winkel auf die Waferaufnahme im
SWS montiert.
Abb.443: Wafer-Aufnahme - 8" Hubring ausgebaut
► Demontieren Sie die über den Sensoren angebrachten Hitzeschutzbleche.
► Demontieren Sie die beiden Sensoren (1) von den Montagewinkeln des Hubringes.
► Entnehmen Sie die beiden Sensoren und montieren diese auf die beiden Montagewinkel aus
dem 12" Nachrüstsatz.