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12 Wafer-Stretcher 12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen 322 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Hubring montieren Abb.449: Wafer-Aufnahme - Hubring montieren ► Legen Sie den Hubring (1) ein. ►…
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 321
Klotz auf Klemmung montieren
Abb.447: Wafer-Aufnahme - Klotz für Klemmung montieren
► Montieren Sie den Klotz (2) aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Klemmung (1).
Abdeckblech montieren (nur bei 12" Waferaufnahme)
Abb.448: Wafer-Aufnahme - Abdeckblech montieren
► Montieren Sie das Abdeckblech (1) mit vier Schrauben auf die Waferaufnahme.
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
322 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Hubring montieren
Abb.449: Wafer-Aufnahme - Hubring montieren
► Legen Sie den Hubring (1) ein.
► Stecken Sie die vier Federn (3) in die vier Bohrungen.
► Stecken Sie die vier Fixierscheiben (2) auf.
► Befestigen Sie die Fixierscheiben mit den Befestigungsschrauben (4).
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12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 323
Niederhalter-Bleche montieren
Abb.450: Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen
► Richten Sie die Hubkolben mit dem Hilfstool (2) so aus, dass die Öffnungen nach außen zei-
gen.
► Legen Sie die Niederhalter-Bleche aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Waferaufnahme.
► Legen Sie die konischen Fixierscheiben (3) in die Bohrungen ein.
► Schrauben Sie die Niederhalter-Bleche mit den Schrauben locker fest.
► Stecken Sie das Hilfstool (4) in die Öffnung und fixieren Sie damit den innen liegenden Hub-
kolben.
► Schrauben Sie die jeweils vier Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (5) fest.
12.7.3.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8
Die Sensoren müssen von der Waferaufnahme demontiert und auf die 8" Expansionsbleche mon-
tiert werden (siehe 12.7.3.3.3 "Hubring bei 8“-Waferstretcher entfernen" [}317]).
An der Klemmung muss der Klotz demontiert werden und anstelle der Klemmhebel eingehängt
werden (siehe 12.7.3.3.2 "Klemmung lösen" [}316]).