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9 Wafer-Wechsel-System 9.1 Magazinlift 198 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 9.1.1.5 Schalter für Überprüfung ob eine Kassette vorhanden ist Zwei Kippschalter auf der Magazinplatte des Waferlifts überpr…

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9 Wafer-Wechsel-System
9.1 Magazinlift
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 197
9.1.1.4 Crashsensor und Slotabfrage
Abb.254: Crashsensor und Slotabfrage am Magazinlift
●
Der Crashsensor (1) überwacht, ob der Lift frei ist. D.h. dass sich kein Wafer im Verfahrbe-
reich der Hubachse befindet.
●
Die Slotabfrage (2) überprüft jeden Einschub des Magazins, ob sich darin ein Wafer befindet.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
ð Die Anzeigen leuchten:
– DI25 Wafer slot sensor
– DI26 Lift crash sensor
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9.1 Magazinlift
198 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9.1.1.5 Schalter für Überprüfung ob eine Kassette vorhanden ist
Zwei Kippschalter auf der Magazinplatte des Waferlifts überprüfen, ob eine Waferkassette einge-
legt ist.
Abb.255: Kippschalter am Magazinlift
1. Kippschalter für Waferkassette 8"
2. Kippschalter für Waferkassette 12"
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
► Die Anzeige leuchtet:
– DI28 Magazine present
Die Anschlusskabel sind zur Platine DNC verlegt und dort angeschlossen (siehe 9.1.2 "Elek-
trik" [}202]).
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9.1.1.6 Haubenschalter
Der Haubenschalter überprüft, ob die Haube des Waferlifts geschlossen ist. Der Haubenschalter
befindet sich an der rechten Seite des Waferlifts.
Abb.256: Haubenschalter am Magazinlift
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste, den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und dann wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafer Changer.
ð Die Anzeige leuchtet:
– DI27 Wafer lift hood: closed
Die Anschlusskabel sind zur Schützsicherheitskombination verlegt und dort angeschlossen (siehe
9.1.2 "Elektrik" [}202]).