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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling 412 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 15.4.3 Menü Wafer-Wechsel-Kalibrierung Um das Kalibrierungsmenü aufzurufen, wählen Sie Calibration o…

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 411
Abb.592:
► Verfahren Sie den Wafertisch manuell, bis dieser (2) über dem Wafer-Heater zentriert ist (1).
Unser Beispiel dient nur zu Demonstrationszwecken. Normalerweise ist bei einem installierten
Wafer-Heater anstelle der Schutzabdeckung (1) eine Stretch-Einheit am Wafertisch montiert.
Abb.593:
► Wählen Sie Save.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
412 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4.3 Menü Wafer-Wechsel-Kalibrierung
Um das Kalibrierungsmenü aufzurufen, wählen Sie Calibration of wafer changer.
Abb.594:
Wafer-Wechsel-Kalibrierung
HOHE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus muss aktiviert sein!
Als Vorbedingung für diese Kalibrierung muss die Wafer-Übergabeposition korrekt eingestellt sein
(siehe 15.4.1.3 "Wafer-Übergabeposition des Magazins in Bezug auf den Wafertisch kalibrie-
ren" [}400]).
Mit dieser Kalibrierung werden der Wafer-Wechsel-Nullpunkt und die Endpunkte der Wafer-Wech-
sel-Achse kalibriert.
Halten Sie die im Folgenden gezeigte Kalibrierreihenfolge ein:
Abb.595:
► Wählen Sie Prepare zero point calibration
Dadurch wird die Stromversorgung der Wafer-Wechsel-Achse initialisiert und dann ausge-
schaltet. So kann der Wafer-Wechsler bewegt werden.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 413
Abb.596:
► Verschieben Sie den Wafer-Wechsler manuell zur mechanischen Verriegelung neben dem
Pipettenwechsler.
► Wählen Sie Calibrate zero point position. Dadurch wird die Nullpunktposition gespeichert.
► Wählen Sie Initialize. Danach wird die Achse initialisiert und die Kalibrierungsdaten werden
an die Software übertragen.
► Wählen Sie Calibration limits.
► Deaktivieren Sie den Setup-Modus.
Für diese Kalibrierung muss der Wafertisch mit Hilfe der Software in eine definierte Position
gefahren werden.
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
Abb.597:
► Wählen Sie Calibrate lift and wafer table position.
ð Die folgenden Positionen werden kalibriert: