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15 Kalibrierung 15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 381 Abb.538: ► Die Flip-Drehachse wird bis zu einem Timeout verfahren, wenn das Lager eines Segments den Bet…

15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
380 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.536:
► Wählen Sie Service Calibration flipper in der rechten Menüleiste.
Normalerweise ist diese Schaltfläche aktiv, wenn Sie dieses Menü aufrufen.
Abb.537:
► Wählen Sie Calibration für die Flip-Kopf-Drehachse (1).
► Wählen Sie Start calibration (2).
ð Die automatische Kalibrierreihenfolge startet.
► Während der Kalibrierung ist der Status Execute aktiv (3).
► Nach erfolgreicher Kalibrierung ändert sich der Status in Ready.
Wie die automatische Kalibrierung der Flip-Kopf-Drehachse funktioniert
► Die Flip-Kopf-Drehachse ist referenziert.
► Die Flip-Z-Achse wird 3mm abwärts verfahren. In diesem Fall wird die vom Haltezylinder defi-
nierte Z‑Position als Grundstellung der Z‑Achse definiert, weil die Z‑Achse zu diesem Zeit-
punkt wahrscheinlich noch nicht kalibriert ist.

15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 381
Abb.538:
► Die Flip-Drehachse wird bis zu einem Timeout verfahren, wenn das Lager eines Segments
den Betätiger der Z‑Achse berührt. Diese Position der Drehachse wird gespeichert.
Abb.539:
► Danach verfährt die Z-Achse in die entgegengesetzte Richtung, bis das Lager eines anderen
Segmentes den Betätiger der Z‑Achse berührt. Diese Position wird ebenfalls gespeichert.
► Aus diesen beiden Positionen der Flip-Drehachse wird der Durchschnittswert berechnet und
so die Grundstellung der Flip-Drehung definiert.
15.3.2.3 Kalibrierung - Flip-Kopf-Z-Achse
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
Diese Kalibrierung ermittelt den korrekten Nullpunkt der Flip-Kopf-Z-Achse in Bezug auf den
Laufring der Flip-Kopf-Drehachse.
Nach der Kalibrierung ist die Flip-Kopf-Z-Achse exakt in Bezug auf den Laufring positioniert, so
dass während der Drehung kein Effekt auf die Z‑Achse besteht und es letztlich keine Abweichung
des Kugellagers gibt.

15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
382 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.540:
► Wählen Sie Service Calibration Z axis in der rechten Menüleiste.
Abb.541:
► Wählen Sie Start Calibration.
ð Die vollständige automatische Kalibrierung der Z-Achse startet.
► Während der automatischen Kalibrierung ist der Status Execute aktiv.