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7 Die-Ejector 7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 153 Abb.190: ► Verschieben Sie den Wafertisch in Richtung Waferlift (2) , um Zugang zu allen B…

7 Die-Ejector

7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position

152 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

Abb.188:

► Wechseln zu Ejection-Unit (8).

Abb.189:

► Fahren Sie die Die-Ejector-Unit nach oben (9).

► Drücken Sie den Not-Aus-Schalter am SWS.

Mit dem Drücken des Not-Aus-Schalters sind alle Achsen freigeschaltet und können von

Hand verschoben werden.

Die nach oben gefahrene Die-Ejector-Unit bleibt dabei in Position.

7 Die-Ejector

7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 153

Abb.190:

► Verschieben Sie den Wafertisch in Richtung Waferlift(2), um Zugang zu allen Befestigungs-

schrauben(1) der Die-Ejector-Grundplatte zu bekommen.

7.4.2 Justage der Nadel in X/Y-Position

Abb.191:

► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben (1 und 2) der Grundplatte und drücken Sie die

Grundplatte in Richtung Exzenterwelle.

7 Die-Ejector

7.4 Mechanische Justage der Nadelposition in X/Y-Position

154 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

Abb.192:

► Wechseln Sie in das Livebild der Waferkamera (3 und 4).

Abb.193:

HINWEIS

► Falls der Punkt der Nadelspitze nicht sichtbar ist, wechseln Sie hier in das Menü Illu-

mination und stellen Sie Beleuchtung ein, bis die Nadelspitze / der Nadelkonus sicht-

bar ist.