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9 Wafer-Wechsel-System 9.2 Greifer 216 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 – 9.2.9.1 "Zahnriemenachse am Lift in der Höhe ausrichten" [ } 214] – 9.2.9.2 "Zahnriemenachse am Wechsler in der…
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 215
9.2.9.2 Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten
Abb.277: Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten
► Fahren Sie den Greifer in die "Home-Position" und bewegen Sie diesen dann nach unten.
► Legen Sie die Hilfsleiste (1) ein (z.B. ein stabiler Metallstreifen). Die Hilfsleiste muss bündig
auf der Waferaufnahmeleiste liegen.
► Entfernen Sie die Schraube (2).
► Justieren Sie mit dem Gewindestift (3) die Höhe.
► Ziehen Sie die Schraube fest.
9.2.10 Waferwechsler komplett tauschen
Abb.278: Waferwechsler komplett tauschen
► Entfernen Sie die Abdeckbleche.
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben (1).
► Entfernen Sie die Schrauben (2) an der Befestigungsplatte (Halterung zwischen Flip-Unit und
Waferwechsler, von unten zugängig).
► Klemmen Sie die elektrischen Anschlusskabel ab.
► Stecken Sie die pneumatischen Anschlüsse ab.
► Wechseln Sie die komplette Wafer-Wechsler-Einheit aus.
► Nehmen Sie die folgenden Einstellungen vor:
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 217
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
10.1.1 Beschreibung der Baugruppe Die-Attach-Unit SWS
Die Baugruppe Die-Attach-Unit SWS wird als Komplettbaugruppe geliefert.
Bestellnummer Gesamtbaugruppe [00384741-xx] Die-Attach-Unit SWS
Nachrüstsatz [00519728-xx] Die-Attach-Unit SWS
Abb.279:
Die Baugruppe Die-Attach-Unit SWS wird komplett mit folgenden montierten Einzelteilen geliefert:
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung
1 00385866-xx Kulissenhubeinheit
2 00385955-xx Bürstenloser Cybermotor-Die-Attach-Unit
3 Ablageplatz für Füllstück Kulisse (Aufbewahrungsposition)
4 03068603-xx Magnetventil
5 00385749-xx Platine AD-DA Rev.0 → Verdrahtet mit Sensoren
6 00379104-xx Platine AD-MOT2 Rev.0 → Verdrahtet mit Motoren
7 03042562-xx M5x16 Befestigungsschraube
8 03042562-xx M5x16 Befestigungsschraube
9 03042562-xx M5x16 Befestigungsschraube (unter dem Magnetventil [03068603‑xx]
→ wegdrehen!)
10 00385562-xx Abwurfbehälter rechts komplett
Die beiden Platinen [00385749-xx] (5) und [00379104-xx] (6) sind schon mit den Sensoren und
Motoren verdrahtet.
Beim Einbau der Die-Attach-Unit SWS müssen somit nur noch die Platinen mit dem SWS verbun-
den werden. Diese Kabel liegen vorbereitet an der Einbauposition bereit.