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11 Ausbaugruppen 11.1 Wafer-Aufnahmen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 257 11 Ausbaugruppen 11.1 Wafer-Aufnahmen Die Ersatzteile sind für folgende Wafer-Aufnahmen gültig: ● Wafer-Aufnahme 8" SWS12…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS
256 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 257
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
Die Ersatzteile sind für folgende Wafer-Aufnahmen gültig:
●
Wafer-Aufnahme 8" SWS12 (1/3) [00387217-xx]
●
Wafer-Aufnahme 12" SWS12 (1/3) [00387020-xx]
●
Wafer-Aufnahme 8" SWS12 (2/4) [00387411-xx]
●
Wafer-Aufnahme 12" SWS12 (2/4) [00387412-xx]
11.1.1 Übersicht
Abb.348: Wafer-Aufnahme mit eingelegtem Wafer (Beispiel für 12")
1. Wafer-Aufnahme
2. Wafer
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
258 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
11.1.2 Übersicht der Ersatzteile
Abb.349: Ersatzteile an der Wafer-Aufnahme (Beispiel für 12")
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung
1 03066721-xx Magnetventil CPE10-M1BH-5L-M7
2 00385357-xx Einschraubzylinder EGZ-6-5
3 03066505-xx Reflexions-Lichttaster
4 00386142-xx AD-Platine-12pol.Stiftl.55x35mm MS-E543
5 00386209-xx Klemmung
6 00386560-xx Mitnehmer
7 00386242-xx Schwenkzylinder DSM-6-180-P-A-FF
8 03063134-xx Näherungsschalter SME-10-KL-LED-24