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2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS) 2.2 Übersicht der Hauptbaugruppen 24 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Ansicht SWS von vorne (Magazinlift demontiert) Abb.5: Versorgungseinheit des SWS v…

2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS)

2.2 Übersicht der Hauptbaugruppen

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 23

7. Magazinlift

Ansicht SWS von hinten (Maschinenseite)

Abb.4: Übersicht SWS – Rückseite

1. Grundrahmen

2. Barcodescanner am Wafer-Magazinlift oder neben der Greifereinheit (je nach Konfiguration)

2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS)

2.2 Übersicht der Hauptbaugruppen

24 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

Ansicht SWS von vorne (Magazinlift demontiert)

Abb.5: Versorgungseinheit des SWS von vorne

1. Elektroeinschub vorne

2. Computereinheit

3. Trafo

4. Druckschalter

5. Netzfilter

6. Magnetventil

7. Abdeckung

2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS)

2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 25

2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen

Abb.6: Explosionsansicht der Hauptbaugruppen

1 Versorgungseinheit 2 Die-Ejector

3 Grundrahmen 4 X/Y-Unit

5 Waferaufnahme 8" oder 12" auf X/Y-

Unit montiert

6 Flip-Unit

7 Barcodescanner an Seite Greifer mon-

tiert, oder (8) Barcodescanner an Maga-

zinlift-Seite montiert

8 Barcodescanner an Magazinlift-Seite

montiert

9 Wafer-Magazinlift 10 Wafer-Wechsler-Einheit