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7 Die-Ejector 7.3 Ersatzteile tauschen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 145 Abb.175: ► Legen Sie die Grundplatte auf der Platte des SWS (2) ab. Die Aussparung des Die-Ejectors (3) zeigt in Richtung Wa…
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
144 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
7.3.5 Einbau der kompletten Die-Ejector-Unit in den SWS
Voraussetzungen
●
SWS von Maschine ausgebaut
●
SWS von Stromversorgung abgesteckt
Vorgehensweise
Der Einbau der kompletten Die-Ejector-Unit in den SWS erfolgt in umgekehrter Sequenz zum Aus-
bau (siehe 7.3.2 "Ausbau der kompletten Die-Ejector-Unit aus dem SWS" [}125]).
Abb.173:
► Setzen Sie die Grundplatte in das SWS ein. Achten Sie dabei darauf, dass die Aussparung für
die Omega-Feder(1) immer vorne ist.
Abb.174:
► Fädeln Sie die Grundplatte ein und legen Sie diese auf Platte des SWS ab. Achten Sie
darauf, nirgends anzustoßen.
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Abb.175:
► Legen Sie die Grundplatte auf der Platte des SWS (2) ab. Die Aussparung des Die-Ejectors
(3) zeigt in Richtung Waferlift.
Abb.176: Die-Ejector (am Beispiel SWS 2/4)
► Greifen Sie nun mit der linken Hand in die Aussparung für den Die-Ejector, heben diesen
leicht an und greifen mit der rechten Hand unter die Vorderseite.
Das Bild ist für einen Die-Ejector bei einem SWS 2/4.
Bei einem SWS 1/3 muss man mit der rechten Hand in die Aussparung greifen und mit der
linken Hand die Vorderseite halten.
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SWS 2/4
Abb.177:
► Heben Sie die Grundplatte leicht an und drehen Sie diese um ca. 90° nach links (gegen den
Uhrzeigersinn).
► Senken Sie die Grundplatte vorsichtig ab.
SWS 1/3
Abb.178:
► Heben Sie die Grundplatte leicht an und drehen Sie diese um ca. 90° nach rechts (im Uhrzei-
gersinn).
► Senken Sie die Grundplatte vorsichtig ab.