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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 229 Abb.298: ► Setzen Sie den langen Die-Attach-Abwurfbehälter ein, wie in der Abbildung gezei…

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10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
228 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.296:
► Drehen Sie das Vakuumventil Y6 in seine Position zurück, setzen Sie die Sicherungsschrau-
ben ein und ziehen Sie diese fest.
Abb.297:
► Lockern Sie die in der Abbildung gezeigte Schraube, führen Sie das Erdungskabel darunter
hindurch und ziehen Sie die Schraube wieder fest.
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 229
Abb.298:
► Setzen Sie den langen Die-Attach-Abwurfbehälter ein, wie in der Abbildung gezeigt.
Abb.299:
► Schließen Sie den schwarzen Vakuumschlauch an Ventil Y6 an (Ventil Y6 schaltet das
Vakuum für das Die-Attach-Segment).
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230 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.300:
► Wenn der im SWS vorhandene schwarze Vakuumschlauch zu lang ist, dann schneiden Sie
ihn entsprechend der Abbildung ab. Beachten Sie dabei, dass der Schlauch lang genug sein
muss, um so geführt zu werden, dass später die Abdeckung der Die-Attach-Unit montiert wer-
den kann.
Abb.301:
► Stecken Sie den blauen Schlauch, der an Ventil Y8 angeschlossen ist (Luftdrucksteuerung für
das Die-Attach-Segment Blasluft) auf den oberen Anschluss und den grauen Schlauch (5Bar
für die Freigabe des Transfer-X-Motors) auf den unteren Luftanschluss.
ð Wenn die Pipette am Die-Attach-Segment "später weg fliegt", dann haben Sie die Schläu-
che vertauscht (5Bar Druckluft).
► Wenn das blaue und das graue Kabel, die mit dem Die-Attach-Modul ausgeliefert werden, zu
lang sind, schneiden Sie diese entsprechend der Abbildung ab. Beachten Sie dabei, dass der
Schlauch lang genug sein muss, um so geführt zu werden, dass später die Abdeckung der
Die-Attach-Unit montiert werden kann.