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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 101 5.3.4 Tausch Sensoren X-Achse Die beiden Näherungsschalter überwachen den vorderen und hinteren Endanschlag der X-Achse des…

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5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
100 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.105:
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (1) oder (6) des jeweiligen Näherungsschalters:
– (2) Reverse Limit (RL2)
– (3) Forward Limit (FL2)
► Fädeln Sie das Anschlusskabel bis zur Adapterplatine Wafertisch aus.
► Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe zu Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen
Leitungen, falls keine Bezeichnung vorhanden ist.
► Klemmen Sie die Anschlüsse an der Klemmleiste ab.
► Montieren Sie den neuen Näherungsschalter am jeweiligen Endanschlag (4) oder (5).
► Verlegen Sie das Anschlusskabel zur Adapterplatine Wafertisch.
► Schließen Sie das Anschlusskabel an die jeweilige Klemmleiste an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
5.3.3.1 Näherungsschalter überprüfen
► Schalten Sie das SWS ein und überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Aktivieren Sie den Näherungsschalter mit einem Schraubendreher.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service Settings => Motor settings.
► Wählen Sie den Button GallilMotion_axis1 und dann wählen Sie die Registerkarte Axis sta-
tus.
ð Die Anzeigen leuchten:
– Forward Limit active
– Reverse Limit active
► Bewegen Sie die Achse in beide Richtungen. Bevor die Achse in den jeweiligen Endanschlag
fährt, muss der Näherungsschalter ansprechen und die entsprechende Anzeige leuchten.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 101
5.3.4 Tausch Sensoren X-Achse
Die beiden Näherungsschalter überwachen den vorderen und hinteren Endanschlag der X-Achse
des Wafer Tisches. Das Kabel des jeweiligen Näherungschalters ist an der Adapterplatine Wafer-
tisch angeschlossen.
Abb.106:
1. Näherungsschalter für Forward Limit (FL1)
2. Näherungsschalter für Reverse Limit (RL1)
Informationen zur Verdrahtung finden Sie im Abschnitt 5.2.3 "Überblick Sensoren" [}70].
► Entfernen Sie die Abdeckung (4) der Adapterplatine Wafertisch.
Abb.107:
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (1) oder (6) des jeweiligen Näherungsschalters:
– (2) Forward Limit (FL1)
– (3) Reverse Limit (RL1)
► Fädeln Sie das Anschlusskabel bis zur Adapterplatine Wafertisch aus.
► Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe zur Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen
Leitungen, falls keine Bezeichnung vorhanden ist (siehe).
► Klemmen Sie die Anschlüsse an der Klemmleiste ab.
► Montieren Sie den neuen Näherungsschalter am jeweiligen Endanschlag (4) oder (5).
► Verlegen Sie das Anschlusskabel zur Adapterplatine Wafertisch.
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5.3 Teiletausch
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► Schließen Sie das Anschlusskabel an die jeweilige Klemmleiste an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
5.3.4.1 Näherungsschalter überprüfen
► Aktivieren Sie den Näherungsschalter mit einem Schraubendreher.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service Settings => Motor settings.
► Wählen Sie den Button GallilMotion_axis0 und die Registerkarte Axis status.
► Die Anzeigen leuchten:
– Forward Limit active
– Reverse Limit active
► Bewegen Sie die Achse in beide Richtungen. Bevor die Achse in den jeweiligen Endanschlag
fährt, muss der Näherungsschalter ansprechen und die entsprechende Anzeige leuchten.
5.3.5 Tausche Gabellichtschranken Homeposition HO1 und HO2
Abb.108:
1. Position Gabellichtschranke H01 für X-Achse
2. Position Gabellichtschranke HO2 für Y-Achse
Die Gabellichtschranke HO1 (1) ermittelt die Grundposition (Home-Position) der X-Achse. Das
Kabel der Gabellichtschranke ist an der Adapterplatine Wafertisch angeschlossen.
Die Gabellichtschranke HO2 (2) ermittelt die Grundposition (Home-Position) der Y-Achse. Das
Kabel der Gabellichtschranke ist an der Adapterplatine Wafertisch angeschlossen.