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15 Kalibrierung 15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit 376 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 15.3.1.1 Unterschiedliche Verriegelungssysteme für den Haltezylinder Haltezylinder der Z-Achse - alte Ver…

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15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 375
Auf leichtgängige Bewegbarkeit prüfen
► Um die Position der Haltezylinder zu prüfen, öffnen Sie die Not-Aus-Schleife (z.B. durch
Drücken des Not-Aus-Schalters (Standalone) oder durch Öffnen der SIPLACE-Maschine (in-
stalliertes SWS)), so dass alle Achsen stromlos sind.
► Dann bewegen Sie die Drehachse des Flip-Kopfes manuell in beide Richtungen.
Abb.529:
► Drehen Sie in beide Richtungen von einem Ende bis zum anderen, um sicherzustellen, dass
beide Kugellager leichtgängig über die Transferposition gleiten.
Abb.530:
► Das Kugellager der Z-Achse (1) muss leichtgängig an den Kanten (4) zwischen dem Laufring
(3) und dem Betätiger der Z-Achse (2) vorbei gleiten.
► Der Haltezylinder der Z-Achse hält den Betätiger in der oberen Position, um einen Crash der
Z‑Achse zu verhindern, wenn das SWS ausgeschaltet ist.
► Wenn diese Position zu niedrig oder zu hoch ist, stößt das Kugellager an den Kanten zwi-
schen dem Betätiger (2) und dem Laufring (3) an und die Drehachse kann nicht leichtgängig
verfahren.
► Die Position des Haltezylinders der Z-Achse muss eingestellt werden.
Der Unterschied zwischen der alten und der aktuellen Version besteht lediglich in der Verriegelung
des Haltezylinders mit Kontermutter oder Madenschraube.
Die Position des Haltezylinders wird in beiden Versionen auf dieselbe Weise eingestellt (siehe
nächstes Kapitel).
15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
376 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.3.1.1 Unterschiedliche Verriegelungssysteme für den Haltezylinder
Haltezylinder der Z-Achse - alte Version mit Kontermutter
Abb.531:
An alten SWS wird die Position des Haltezylinders der X-Achse mit einer Kontermutter gesichert.
1. Haltezylinder (Einschraubzylinder [00385277-xx])
2. Zylinderhalter [00385089-xx]
3. Kontermutter (zum Verriegeln des Haltezylinders) Maulschlüssel, Größe 19
Haltezylinder der Z-Achse - aktuelle Version mit Madenschraube
Abb.532:
An aktuellen SWS wird die Position des Haltezylinders der X-Achse mit einer Madenschraube gesi-
chert!
1. Haltezylinder (Einschraubzylinder [00385277-xx])
2. Zylinderhalter [00385089-xx]
3. Madenschraube (zur Verriegelung des Haltezylinders) M3x8 (Inbusschlüssel 1,5mm)
15 Kalibrierung
15.3 Kalibrierung Die-Handling - Flip-Unit
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15.3.1.2 Haltezylinder der Z-Achse einstellen
Benötigte Werkzeuge
●
Maulschlüssel, Größe 19 → für die alte Version mit Kontermutter
●
Inbusschlüssel 1,5mm → aktuelle Version mit Madenschraube
Voraussetzungen
Bevor Sie die Höhe des Haltezylinders einstellen können, lockern Sie:
●
die Kontermutter am Haltezylinder (alte Version) → mit Maulschlüssel, Größe 19
●
die Madenschraube am Haltezylinder (aktuelle Version) → Inbusschlüssel 1,5
Arbeitsschritte
HINWEIS
Schrauben Sie die Madenschraube fast vollständig heraus, so dass Sie den Haltezylinder
leicht nach oben und unten drehen können. Die Madenschraube darf die Oberfläche des
Haltezylinders nicht mehr berühren!
Abb.533:
► Entfernen Sie den Kabelbinder (1) und den Luftschlauch (2) vom Haltezylinder. Damit stellen
Sie sicher, dass sich der Haltezylinder für die Einstellung in Z‑Richtung frei bewegen kann
und keine Druckluft für die Rücklauffunktion am Zylinder anliegt.
► Wenn sich das SWS im Not-Aus-Modus befindet, liegt keine Luftversorgung am Haltezylinder
an!
► Um die Position der Haltezylinder zu prüfen, öffnen Sie die Not-Aus-Schleife, so dass alle
Achsen stromlos sind. Dann bewegen Sie die Drehachse manuell (siehe 15.3.1.1 "Unter-
schiedliche Verriegelungssysteme für den Haltezylinder" [}376]).
Gehen Sie wie folgt vor, um den Haltezylinder der Z-Achse einzustellen: