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9 Wafer-Wechsel-System 9.2 Greifer Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 207 Abb.266: Näherungsschalter an der Zahnriemenachse 1. Näherungsschalter 2. Zahnriemenachse 3. Befestigungsschraube Aus-/Einbau ► …
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9.2 Greifer
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9.2.3 Ersatzteile tauschen
9.2.3.1 Voraussetzungen/Vorbereitungen
Für die Arbeiten am Greifer kann das SWS im Bestücker eingebaut bleiben.
► Schalten Sie den Automaten und das SWS am Hauptschalter aus und trennen diese vom
Stromversorgungsnetz.
Beachten Sie dazu den Abschnitt 1.2 "Was vor Beginn der Arbeiten zu tun ist..." [}15].
► Entfernen Sie die große schwarze Greifer-Abdeckung (siehe 9 "Wafer-Wechsel-Sys-
tem" [}193]).
9.2.3.2 Hilfsmittel
●
Standardwerkzeug
●
Kabelbinder
●
Wirkschaltplanmappe
9.2.4 Näherungsschalter an der Zahnriemenachse tauschen
Abb.265: Lage der Näherungsschalter an der Zahnriemenachse
Die beiden Näherungsschalter überwachen den vorderen und hinteren Endanschlag der Zahnrie-
menachse des Greifers.
Die beiden Näherungsschalter (1) und (2) befinden sich innenliegend auf der Zahnriemenachse
(3). Das Kabel des jeweiligen Näherungschalters ist an der Adapterplatine Wafertisch (siehe 5.2.1
"Aufbau und Ersatzteile – Grundrahmen [00386774-xx] (Beispiel SWS 1/3)" [}68]) angeschlossen.
1. Näherungsschalter für Forward Limit
2. Näherungsschalter für Reverse Limit
3. Zahnriemenachse
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9.2 Greifer
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Abb.266: Näherungsschalter an der Zahnriemenachse
1. Näherungsschalter
2. Zahnriemenachse
3. Befestigungsschraube
Aus-/Einbau
► Markieren Sie die ursprüngliche Einbauposition des Näherungsschalters mit einem Stift. Kon-
trollieren Sie die ungefähren Montagemaße (siehe oben).
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube des jeweiligen Näherungsschalters.
► Fädeln Sie das Anschlusskabel bis zur Adapterplatine-Wafertisch (siehe 5.2.1 "Aufbau und
Ersatzteile – Grundrahmen [00386774-xx] (Beispiel SWS 1/3)" [}68]) aus.
► Falls keine Bezeichnung der Leitungen vorhanden ist: Nehmen Sie die Stromlaufplanmappe
zur Hilfe und kennzeichnen Sie die angeschlossenen Leitungen.
► Klemmen Sie die Anschlüsse an der Klemmleiste ab.
► Montieren Sie den neuen Näherungsschalter an die markierte Position und messen die Mon-
tagemaße (siehe oben).
► Verlegen Sie das Anschlusskabel zur Adapterplatine Wafertisch.
► Schließen Sie das Anschlusskabel an die jeweilige Klemmleiste an.
► Fixieren und bündeln Sie die Kabel ggf. mit Kabelbinder. Die Kabel dürfen nirgends scheuern
oder klemmen.
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9.2.4.1 Position der Näherungsschalter einstellen
► Schalten Sie das SWS ein und überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Service Settings => Motor settings
(siehe 14.1 "SWS GUI - Service Settings" [}363]).
Für den Näherungschalter Forward Limit active:
► Wählen Sie den Button GallilMotion_axis8
und dann wählen Sie die Registerkarte
Axis status.
► Bewegen Sie die Achse in den mechanischen Endanschlag.
► Bevor die Achse den mechanischen Endanschlag erreicht (ca. 5 mm davor) muss der Nähe-
rungsschalter ansprechen (LED leuchtet).
ð Die Anzeige leuchtet:
– Reverse Limit active
Somit ist gewährleistet, dass der maximale Verfahrweg ausgenutzt wird, die Achse jedoch
nicht in den mechanischen Endanschlag fahren kann.
Für den Näherungsschalter Reverse Limit active:
► Wählen Sie den Button GallilMotion_axis8
und dann wählen Sie die Registerkarte
Axis status.
► Bewegen Sie die Achse in die Abholposition um einen Wafer aus der Kassette zu entnehmen.
Der Greifer muss sicher den Wafer erreichen und mit den Backen klemmen können. Der
Näherungsschalter muss dann in dieser Position ca. 5mm weiter verschoben werden und
muss dann ansprechen (LED leuchtet).
ð Die Anzeige leuchtet:
– Forward Limit active
Somit ist gewährleistet, dass der Wafer sicher abgeholt werden kann, die Achse jedoch
nicht in den mechanischen Endanschlag fahren kann.
9.2.5 Motor mit Kupplung für Waferhandling tauschen
Abb.267: Motor mit Kupplung für das Waferhandling
Der Motor fährt mit Hilfe der Zahnriemenachse den Greifer in die Entnahme- und in die Bearbei-
tungsposition.
Ausbau
► Entfernen Sie die Abdeckung der Motorplatine (1).