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7 Die-Ejector 7.3 Ersatzteile tauschen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 123 Pos. Art.-Nr. Ersatzteil 1 03098367-xx 03098236-xx Z-Achse Die-Ejector (2/4), magnetisch Z-Achse Die-Ejector (1/3), magnetisc…

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7 Die-Ejector
7.2 Übersicht der Ersatzteile
122 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
7.2 Übersicht der Ersatzteile
Abb.133: Die-Ejector von vorne und hinten
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 123
Pos. Art.-Nr. Ersatzteil
1 03098367-xx
03098236-xx
Z-Achse Die-Ejector (2/4), magnetisch
Z-Achse Die-Ejector (1/3), magnetisch
2 00385741-xx Platine Dual-Light-Barrier 27,5 x14mm
3 00387580-xx Dichtungseinheit
4 03050539-xx Magnetventil MHE3-M1H-3/2G-1/8
5 00384600-xx Platine AD-MOT Rev.0 Sub-D = abgewinkelt
6 03027512-xx Näherungsschalter SME-8F-DS-24V-K2,5-OE
7 00386142-xx AD-Platine 12 polige Stiftleiste 55x35mm MS-E543
8 03075723-xx Magnetventil CPE10
9 00385053-xx Näherungsschalter NBN4-F29-E2
00201141-xx O-Ring 3x1mm
10 00387919-xx Omega-Feder
7.3 Ersatzteile tauschen
7.3.1 Vorbereitende Tätigkeiten
Um die komplette Die-Ejector-Unit aus dem SWS ausbauen zu können gehen Sie wie folgt vor:
► Entnehmen Sie das Ausstechsystem.
Siehe 7.6 "Umbau Nadel-Ausstecheinheit Bajonett (alte Version) auf Nadel-Ausstecheinheit
Magnetisch (aktuelle Version)" [}168]
► Der Wafertisch muss in die Wechselposition gefahren werden, um die Grundplatte des Die-
Ejectors zugänglich zu machen.
Abb.134:
HINWEIS
Der Wafertisch muss möglichst mit der Software (siehe Bild) verfahren werden. Nur so ist
garantiert, dass auch der Die-Ejector in einer niedrigen sicheren Position ist!
► Falls der Die-Ejector dennoch in der oberen Position steht, muss dieser mit der Software in
die sichere untere Position gefahren werden:
7 Die-Ejector
7.3 Ersatzteile tauschen
124 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.135:
► Fahren Sie die SWS Software herunter.
► Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.
► Bauen Sie das SWS aus (siehe 4.1 "SWS ausbauen" [}59]).
HINWEIS
► Falls nach dem Ausbau des SWS aus der CA-Maschine dennoch festgestellt wird,
dass der Die-Ejector in Position "Oben (Top)" ist, dann lesen Sie Abschnitt 17.1 "Z-
Achse Die-Ejector im ausgeschalteten und ausgebauten SWS nach unten bewe-
gen" [}477]).