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7 Die-Ejector 7.1 Übersicht der Hauptbaugruppen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 121 7 Die-Ejector Je nach Stellplatz gibt es zwei verschiedene Versionen, die sich nur durch die spiegelverkehrte An- or…
6 Versorgungseinheit
6.3 Einstellungen
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7 Die-Ejector
7.1 Übersicht der Hauptbaugruppen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 121
7 Die-Ejector
Je nach Stellplatz gibt es zwei verschiedene Versionen, die sich nur durch die spiegelverkehrte An-
ordnung der Baugruppen unterscheiden:
●
Die-Ejector SWS12 (1/3) [00387913-xx]
●
Die-Ejector SWS12 (2/4) [00387881-xx]
7.1 Übersicht der Hauptbaugruppen
Abb.132: Hauptbaugruppen des Die-Ejectors
1. Z-Achse Die-Ejector
7 Die-Ejector
7.2 Übersicht der Ersatzteile
122 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
7.2 Übersicht der Ersatzteile
Abb.133: Die-Ejector von vorne und hinten