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12 Wafer-Stretcher 12.6 Einbau Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 299 Abb.416: ► Ziehen Sie den X/Y-Tisch ganz zur Waferlift-Seite (1) . ► Positionieren Sie den Wafer-Wechsler (Greifer) …
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12.6 Einbau Wafer-Stretcher
298 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.6.2 Montage des Wafer-Stretchers auf die Führungswägen
Abb.414:
► Demontieren Sie den Klemmzylinder (1) und den Hubzylinder (2) vom Wafer-Stretcher. Die
Abbildung ist nur beispielhaft, da sie den demontierten Zustand im SWS zeigt!
Abb.415:
► Zur Demontage entfernen Sie die beiden Schrauben an den Zylindern.
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12.6 Einbau Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 299
Abb.416:
► Ziehen Sie den X/Y-Tisch ganz zur Waferlift-Seite (1).
► Positionieren Sie den Wafer-Wechsler (Greifer) ganz hinten (2).
► Reinigen Sie die Oberfläche der Führungswägen (3).
► Positionieren Sie die Führungswägen vorab in etwa auf die Position der Befestigungsbohrun-
gen im Wafer-Stretcher.
Abb.417:
► Heben Sie nun vorsichtig den Wafer-Stretcher auf den X/Y-Tisch.
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300 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.418:
► Legen Sie den Wafer-Stretcher zu etwa 2/3 auf den X/Y-Tisch.
► Ziehen Sie den Wafer-Wechsler (Greifer) mittig in den Wafer-Stretcher (1).
► Richten Sie die Führungswägen zu den Befestigungsbohrungen im Wafer-Stretcher aus (2
und 3).
Abb.419:
► Rollen Sie die Kabelkette aus und fixieren Sie diese mit den Kabeln an einer oberen Baugrup-
pe.
Damit wird die Montage des Wafer-Stretcher auf die Führungswägen erleichtert, da nicht über die
aufgerollte Kabelkette gehoben werden muss.