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3 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung .. 13 1.1 Sicherheitshinweise .. 13 1.1.1 Konventionen zur Verwendung von Sicherheitshinweisen und Darstellungs…
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3Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
1 Einleitung.. 13
1.1 Sicherheitshinweise.. 13
1.1.1 Konventionen zur Verwendung von Sicherheitshinweisen und Darstellungsmitteln.. 13
1.1.2 Sicherheitshinweise zur Stromversorgung.. 14
1.1.3 Sicherheitshinweise zur Druckluftversorgung.. 14
1.1.4 Sicherheitshinweise zu Gefahrenstoffen.. 14
1.2 Was vor Beginn der Arbeiten zu tun ist..... 15
1.3 Weitere Hinweise.. 16
1.3.1 Wichtige Hinweise zur umweltfreundlichen Entsorgung von Materialien.. 16
1.3.2 Hinweis zum Original-Zubehör.. 16
1.3.3 Hinweise zu dieser Serviceanleitung.. 17
1.3.4 EGB-Richtlinien.. 17
1.3.4.1 Was bedeutet EGB?.. 17
1.3.4.2 Wichtige Schutzmaßnahmen gegen statische Aufladung.. 17
1.3.4.3 Handhabung von EGB-Baugruppen.. 17
1.3.4.4 Messen und Ändern an EGB-Baugruppen.. 18
1.3.4.5 Versenden von EGB-Baugruppen.. 18
1.3.5 Gültigkeit des Dokuments.. 18
1.3.6 Übersicht über die Ausgabestände.. 18
1.3.7 SIPLACE im World Wide Web (WWW).. 18
1.4 Personalqualifikation und Schulung.. 19
1.5 Abkürzungen.. 19
2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS).. 21
2.1 Technische Daten.. 22
2.2 Übersicht der Hauptbaugruppen.. 22
2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen.. 25
2.3.1 Baugruppenübersicht des Bereiches Wafertisch.. 26
2.4 Beschreibung der SWS-Baugruppen.. 27
2.4.1 Versorgungseinheit.. 27
2.4.1.1 Flip-Unit.. 28
2.4.1.2 Waferkamera-System.. 30
2.4.1.3 Wafertisch.. 30
2.4.1.4 Die-Ejector.. 33
2.4.1.5 Ausstech-Tool oder Die-Ejector.. 35
2.4.1.6 Wafer-Wechsler-System.. 37
2.4.2 Optionale Komponenten.. 41
2.4.2.1 Linear-Dipping-Unit (LDU).. 41
2.4.2.2 Die-Attach-Unit.. 42
2.4.2.3 Small-Die-Kit.. 42
2.4.2.4 Wafer-Map-System.. 43
2.4.2.5 Barcodescanner.. 43
2.4.2.6 SIPLACE SWS Wafer-Stretcher.. 43
3 Funktionsprinzip des SIPLACE Wafer-Systems (SWS).. 47
3.1 Grundfunktionen des SWS.. 47
3.2 Basic-Die-Presentation-Prozess.. 48
3.2.1 Flip-Chip-Prozess.. 49
3.2.2 Die-Attach-Prozess.. 50
4 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Inhaltsverzeichnis
3.2.3 Die-Erkennung und Die-Positionierung.. 50
3.2.4 Ausstechvorgang.. 51
3.2.5 Pickup-Prozess.. 51
3.2.6 Embedded Wafer-Level-Ballgrid-Array (eWLB/WLFO) Prozess.. 52
3.3 Pick und Transferprozess im Detail.. 53
3.3.1 Flip Chip Segment 1 (Pipette).. 53
3.3.2 Flip Chip Segment 1 (Z-Richtung).. 54
3.3.3 Die-Attach – Transferposition.. 55
3.3.4 Flip-Chip-codierte Positionen (nach dem Kalibrieren).. 56
4 Einbau und Ausbau des SWS in eine SIPLACE CA-Maschine.. 59
4.1 SWS ausbauen.. 59
4.2 SWS einbauen.. 62
4.3 Magazinlift aufschwenken.. 65
5 Grundrahmen – X/Y-Unit.. 67
5.1 Funktionsbeschreibung.. 67
5.2 Übersicht Gesamtaufbau.. 67
5.2.1 Aufbau und Ersatzteile – Grundrahmen [00386774-xx] (Beispiel SWS 1/3).. 68
5.2.2 Aufbau und Ersatzteile – X/Y-Unit [00386776-xx] (Beispiel SWS 1/3).. 69
5.2.3 Überblick Sensoren.. 70
5.3 Teiletausch.. 72
5.3.1 Tausch Y-Motor mit Kupplung.. 72
5.3.1.1 Demontage Y-Motor mit Kupplung.. 73
5.3.1.2 Demontage Y-Motor (Alternative, ohne Kupplung).. 78
5.3.1.3 Montage Y-Motor und Kupplung.. 79
5.3.1.4 Notwendige Kalibrierung nach Y-Motorentausch.. 84
5.3.2 Tausch X-Motor.. 84
5.3.2.1 Demontage X-Motor und Kupplung.. 84
5.3.2.2 Einbau neuer X-Motor und Kupplung.. 90
5.3.3 Tausch Sensoren Y-Achse.. 99
5.3.3.1 Näherungsschalter überprüfen.. 100
5.3.4 Tausch Sensoren X-Achse.. 101
5.3.4.1 Näherungsschalter überprüfen.. 102
5.3.5 Tausche Gabellichtschranken Homeposition HO1 und HO2.. 102
5.3.6 Tausch Motorplatine Y-Achse.. 104
5.3.7 Tausch Motorplatine X-Achse.. 105
5.3.8 Feinsicherung F1 auf Adapter-Platine Wafertisch AD-WT Rev.0 [00379046-xx].. 105
6 Versorgungseinheit.. 107
6.1 Übersicht der Ersatzteile.. 107
6.2 Ersatzteile tauschen.. 111
6.2.1 Vorbereitende Tätigkeiten.. 111
6.2.1.1 Magazinlift aufschwenken.. 111
6.2.1.2 Magazinlift schließen.. 112
6.2.1.3 Versorgungseinheit herausziehen.. 112
6.2.1.4 Versorgungseinheit einschieben.. 113
6.2.2 BoxPC tauschen.. 113
6.2.3 Vakuumpumpe tauschen.. 114
6.2.4 Galil-Motor-Karte AMP-19540 oder AMP-19520 tauschen.. 115
6.2.5 Netztransformator tauschen.. 116