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9 Wafer-Wechsel-System 9.2 Greifer 214 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.275: Zahnriemenachse komplett vom Rahmen abnehmen ► Entfernen Sie die vier (2x2) Befestigungsschrauben (3) der Zahnriemenach…
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 213
► Klemmen Sie die Anschlüsse an der Klemmleiste ab.
► Montieren Sie den neuen Greifer und kontrollieren Sie die Höhe.
► Die Greiferbacken müssen einen Waferrahmen sicher abholen und klemmen können (siehe
9.2.7 "Greifer für Stellplatz 1/3 demontieren" [}211]).
Abb.274: Greifer -Höhe einstellen (Variante 2,4)
► Mit Hilfe der Einstellschraube (1) können Sie die Höhe korrigieren.
9.2.9 Zahnriemenachse tauschen
WARNUNG
Nur erfahrene Servicetechniker der Fa. ASM Assembly Systems GmbH & Co.KG
Das Tauschen der Zahnriemenachse und die dazu notwendigen Einstellungen dürfen nur
erfahrene Servicetechniker der Fa. ASM Assembly Systems GmbH & Co.KG durchführen.
Eine unsachgemäße Montage der Zahnriemenachse kann zu Beschädigungen am SWS
führen.
► Demontieren Sie die beiden Näherungsschalter von der Zahnriemenachse (siehe 9.2.4 "Nähe-
rungsschalter an der Zahnriemenachse tauschen" [}206]).
Gehen Sie dabei grundsätzlich so vor dort beschrieben. Die elektrischen Anschlüsse müssen
jedoch nicht abgeklemmt werden.
► Demontieren Sie den Greifer und legen Sie den Greifer vorsichtig im SWS ab.
Siehe dazu 9.2.7 "Greifer für Stellplatz 1/3 demontieren" [}211]
oder 9.2.8 "Greifer für Stellplatz 2/4 demontieren" [}212]
► Lockern oder öffnen Sie ggf. Kabelbinder um eine geeignete Position zu erreichen.
► Entfernen Sie die beiden Schrauben (2) (siehe Abbildung in 9.2.9 "Zahnriemenachse tau-
schen" [}213]) mit denen die komplette Zahnriemenachse am Rahmen montiert ist.
► Kippen Sie die komplette Zahnriemenachse nach vorne.
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
214 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.275: Zahnriemenachse komplett vom Rahmen abnehmen
► Entfernen Sie die vier (2x2) Befestigungsschrauben (3) der Zahnriemenachse und nehmen
Sie die Zahnriemenachse ab.
► Montieren Sie die neue Zahnriemenachse (4) mit der kompletten Zahnriemenachse an die ur-
sprüngliche Position.
► Montieren Sie den Greifer (1).
9.2.9.1 Zahnriemenachse am Lift in der Höhe ausrichten
Abb.276: Zahnriemenachse am Lift in der Höhe ausrichten
► Bewegen Sie den Greifer in Richtung Waferlift und fahren Sie ihn nach unten.
► Legen Sie die Hilfsleiste (3) ein (z. B. ein stabiler Metallstreifen).
► Entfernen Sie die Befestigungsschraube (2) und justieren Sie diese mit dem Gewindestift (1)
in der Höhe.
► Die Hilfsleiste (3) muss bündig auf der Waferaufnahmeleiste liegen. Ziehen Sie dann die
Befestigungsschraube (2) fest.
9 Wafer-Wechsel-System
9.2 Greifer
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 215
9.2.9.2 Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten
Abb.277: Zahnriemenachse am Wechsler in der Höhe ausrichten
► Fahren Sie den Greifer in die "Home-Position" und bewegen Sie diesen dann nach unten.
► Legen Sie die Hilfsleiste (1) ein (z.B. ein stabiler Metallstreifen). Die Hilfsleiste muss bündig
auf der Waferaufnahmeleiste liegen.
► Entfernen Sie die Schraube (2).
► Justieren Sie mit dem Gewindestift (3) die Höhe.
► Ziehen Sie die Schraube fest.
9.2.10 Waferwechsler komplett tauschen
Abb.278: Waferwechsler komplett tauschen
► Entfernen Sie die Abdeckbleche.
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben (1).
► Entfernen Sie die Schrauben (2) an der Befestigungsplatte (Halterung zwischen Flip-Unit und
Waferwechsler, von unten zugängig).
► Klemmen Sie die elektrischen Anschlusskabel ab.
► Stecken Sie die pneumatischen Anschlüsse ab.
► Wechseln Sie die komplette Wafer-Wechsler-Einheit aus.
► Nehmen Sie die folgenden Einstellungen vor: