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15 Kalibrierung 15.1 Allgemeines Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 367 15 Kalibrierung 15.1 Allgemeines VORSICHT Bevor Sie eine Kalibrierung starten ► Erstellen Sie eine Sicherung der Maschinendaten (si…

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14 Einstellungen und Testen
14.3 Kamera Kalibrierung
366 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Kalibrierung bei komplett unkalibriertem Motor
Abb.516: SWS-GUI - Service-Menü - Camera calibration - Z-Axis
► Wählen Sie auf den Button Z-Axis (1).
► Wählen Sie auf den Button Automatic calibration (2).
► Notieren Sie die Werte für Home position of z axis [µm].
► Tragen Sie die Werte auf den entsprechenden Etiketten am Motorkörper ein.
Kalibrierung bei vorkalibriertem Motor
Wenn der neue Motor bereits in einer Prüfstation kalibriert wurde, dann können Sie die Z-HomePo-
sition übernehmen. Den FlipRotationPositionOffset müssen Sie jedoch im eingebauten Zustand
kalibrieren.
Abb.517: SWS-GUI - Service-Menü - Camera calibration – Flipper
► Wählen Sie den Button Flipper (1).
► Wählen Sie die Registerkarte Calibration (2).
► Wählen Sie den Button Start calibration (3).
► Tragen Sie den Wert Flipper calibration offset [mdeg] auf dem entsprechenden Etikett am
Motorkörper ein.
15 Kalibrierung
15.1 Allgemeines
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 367
15 Kalibrierung
15.1 Allgemeines
VORSICHT
Bevor Sie eine Kalibrierung starten
► Erstellen Sie eine Sicherung der Maschinendaten (siehe 15.5.1 "Maschinen-
daten" [}414]).
► Erstellen Sie eine Sicherung der Produktdaten (siehe 15.5.2 "Produktdaten" [}415]).
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und
Software)
15.2.1 Vorbedingung
Die Hardware-Nachrüstung entsprechend der technischen Information TI2016-11C08 (Kapitel 4.2)
muss durchgeführt worden sein.
Für eine Reihe von Tätigkeiten im Setup-Modus muss der Not-Aus-Kreis überbrückt werden, damit
bei geöffneter Haube Funktionen getestet und Einstellungen gemacht werden können.
Um trotzdem ein adäquates Maß an Sicherheit zu gewährleisten, muss sichergestellt sein, dass
sich die Achsen des Wafertisches nicht bewegen können.
Um dies zu ermöglichen, wird ein zusätzlicher Stromkreis eingebaut.
So wird es möglich, die Motoren des Wafertisches während der Arbeiten im Setup-Modus zu deak-
tivieren.
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen!
Auch im Setup-Modus ist die Hubachse immer noch aktiviert.
► Stecken Sie keine Finger in den Haubenspalt am Lift!
15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
368 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.2.2 Nachrüstkonzept für den Setup-Modus
Abb.518: