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2 Übersicht über das SIPLACE Wafer System (SWS) 2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 25 2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen Abb.6: Explosionsansicht der Hauptba…

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2.2 Übersicht der Hauptbaugruppen

24 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

Ansicht SWS von vorne (Magazinlift demontiert)

Abb.5: Versorgungseinheit des SWS von vorne

1. Elektroeinschub vorne

2. Computereinheit

3. Trafo

4. Druckschalter

5. Netzfilter

6. Magnetventil

7. Abdeckung

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2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen

Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 25

2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen

Abb.6: Explosionsansicht der Hauptbaugruppen

1 Versorgungseinheit 2 Die-Ejector

3 Grundrahmen 4 X/Y-Unit

5 Waferaufnahme 8" oder 12" auf X/Y-

Unit montiert

6 Flip-Unit

7 Barcodescanner an Seite Greifer mon-

tiert, oder (8) Barcodescanner an Maga-

zinlift-Seite montiert

8 Barcodescanner an Magazinlift-Seite

montiert

9 Wafer-Magazinlift 10 Wafer-Wechsler-Einheit

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2.3 Detailübersicht der Hauptbaugruppen

26 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018

2.3.1 Baugruppenübersicht des Bereiches Wafertisch

Abb.7: Baugruppenübersicht des SWS

1. Klemmeinheit

2. Waferkamera

3. Flip-Unit

4. Wafer-Aufnahme

5. Führung