00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第481页
17 Tipps und Tricks 17.2 Wafer-Changer Kalibrier-Probleme Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 481 Abb.743: ► Nun erscheint in der Hauptansicht unten rechts neben dem Servicebutton ein zusätzlicher Button…
17 Tipps und Tricks
17.2 Wafer-Changer Kalibrier-Probleme
480 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
17.2 Wafer-Changer Kalibrier-Probleme
Fehlerbeschreibung
Der Wafer-Changer muss immer komplett, auch mit Verfahrwegen ("Kalibrierung Grenzen"), kali-
briert werden.
Wird nur die Nullpunktposition kalibriert, tritt folgendes Fehlerbild auf:
Abb.741:
Nach einem Neustart und dem Versuch der Initialisierung des SWS wird die Fehlermeldung (siehe
Bild) angezeigt.
Versucht man nun den Waferwechsler zu kalibrieren, muss die Liftachse die Magazinplatte so posi-
tionieren, dass der Wafergreifer beim Kalibrieren der Verfahrwege ("Kalibrierung Grenzen") nicht
mit dieser kollidiert.
Die Initialisierung des Gesamtsystems wird beim Versuch den Waferwechsler zu referenzieren ge-
stoppt, da dieser nicht kalibriert ist. Die im Initialisierungsablauf nachfolgende Liftachse wird also
nicht initialisiert. Deshalb ist es nicht möglich die Liftachse zu verfahren und die Software gibt beim
Versuch den Waferwechsler zu kalibrieren die Meldung "19732 Wafer handler calibration failed! /
19733 Unable to move lift into ´CalibrateHandler´ position!".
Vorgehensweise
Um den Waferwechsler kalibrieren zu können, muss zuerst die Liftachse initialisiert werden. Gehen
Sie dafür wie folgt vor:
Abb.742:
► Wechseln Sie in den Bediener Level SIPLACE Service.
Drücken Sie dazu gleichzeitig die Tasten Shift+Strg+Alt+S. Daraufhin erscheint der Button
SIPLACE service. Wählen Sie diesen Button und geben Sie das Passwort MS128 ein.
17 Tipps und Tricks
17.2 Wafer-Changer Kalibrier-Probleme
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 481
Abb.743:
► Nun erscheint in der Hauptansicht unten rechts neben dem Servicebutton ein zusätzlicher
Button (ohne Icon). Wählen Sie diesen.
► Wählen Sie anschließend den Button Motor settings.
Abb.744:
► Wählen Sie nun den blauen Initialisierungs-Button neben Magazine lift.
ð Die Liftachse wird nun referenziert. Anschließend ist die Liftachse aktiv.
Da die Liftachse jetzt angesteuert und verfahren werden kann, ist es möglich den Waferwechsler
zu kalibrieren (siehe 15.4.3 "Menü Wafer-Wechsel-Kalibrierung" [}412]).
17 Tipps und Tricks
17.3 Wafer werden im Magazin am falschen Slot erkannt
482 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
17.3 Wafer werden im Magazin am falschen Slot erkannt
Fehlerbeschreibung
●
Skalierungsfaktor "Abstand Magazinplatte-Slot" scheint zu klein zu sein.
Z.B. Wafer in Slot 25 wird an Slot 10 erkannt oder Wafer an Slot 10 wird an Slot 2 erkannt.
●
Beim Wiederanfahren der Slot-Position wird immer wieder ein anderer Wert angefahren und
gespeichert.
Vorgehensweise
Abb.745:
► Überprüfen Sie die Klemmschrauben an der Kupplung des Waferlift-Antriebs.
Wenn sich diese gelockert haben, so rutscht die Motorachse oder die Kupplung durch und die
Werte des Drehgebers vom Motor passen nicht mehr zu den real gefahrenen Wegen der
Spindel.