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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.2 GALIL-Karten im BoxPC Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 349 Verwendete PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller Es werden im BoxPC verschiedene PCI-BUS-GALIL-Motio…

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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.2 GALIL-Karten im BoxPC
348 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Installieren Sie die notwendige Software.
Benutzen Sie hierfür die zuvor erzeugte Recovery-DVD (siehe 13.1.1.1 "Daten-
backup" [}339]).
► Referieren Sie den SWS.
ð Der SWS ist wieder einsatzbereit.
13.2 GALIL-Karten im BoxPC
13.2.1 Generelles zu GALIL-Karten
Abb.487:
1. AXIS 1/4 → PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller DMC-1886
2. AXIS 9/10 → PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller DMC-1826
3. AXIS 5/6 (8) → PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller Extension
4. Connection → Verbindung zu den zusätzlichen vier Achsausgängen
Abb.488:
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.2 GALIL-Karten im BoxPC
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 349
Verwendete PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller
Es werden im BoxPC verschiedene PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller verwendet.
Je nach Typ können unterschiedlich viele Achsen angesteuert werden.
Typ PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller DMC-1886
Der Typ DMC-1886 (1) kann insgesamt 8 Achsen steuern.
(DMC-1886 → dritte Stelle "8" für 8 Achsen)
Die verwendeten 100poligen Stecker können jedoch nur Signale für insgesamt vier Achsen über-
tragen.
Deswegen wird hier über einen Ausgang mit einem Verbindungskabel ((4) innerhalb des BoxPC)
eine zusätzliche Karte mit 100poligem Stecker versorgt.
Auf dieser Karte (3) werden nur die Signale vom zusätzlichen Ausgang am DMC-1886 durchge-
schleift.
Die Kontrolle der Achsen erfolgt auf der DMC-1886.
Folgende Achsen werden im SWS mit dieser Karte kontrolliert:
●
Wafer-Table X (6)
●
Wafer-Table Y (6)
●
Die-Ejector Tool-Change (6)
●
Die-Ejector (6)
●
Flip-Rotate (Dreh-Achse Flip-Unit) (8)
●
Flip Z-Achse Pick-Up (8)
●
Die-Attach-Unit Rotate (9) → Optional
●
Flip X-Achse /Hand-Over (9) → Optional
PCI-BUS-GALIL-Motion-Controller DMC-1826
Der Typ DMC-1826 (2) kann insgesamt 2 Achsen steuern.
DMC-1826 → dritte Stelle „2“ für 2 Achsen
Folgende Achsen werden im SWS mit dieser Karte kontrolliert:
●
Magazinlift (11)
●
Wafer-Handler (Greifer) (11)
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13.2 GALIL-Karten im BoxPC
350 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
13.2.2 Austausch der GALIL-Karte
► Arbeiten Sie EGB-Konform.
Abb.489:
► Entfernen Sie die rechte Seitenabdeckung des BoxPC.
► Legen Sie den BoxPC auf die Seite.
Abb.490:
► Demontieren Sie die Quertraverse.