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7 Die-Ejector 7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus) 158 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.199: Nadel-Einheit für Die Ejector mit Bajonettverschluss (falls noch verwe…
7 Die-Ejector
7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 157
7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-
Richtung (Fokus)
7.5.1 Nadeln des Nadel-Ausstechsystems tauschen
VORSICHT
Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln
Es besteht Verletzungsgefahr durch die spitzen Nadeln in der Nadel-Einheit.
Es gibt zwei verschiedene Versionen des Nadel-Ausstechsystems:
Alte Version: Nadel-Ausstechsystem mit Bajonettverschluss (nicht mehr lieferbar)
Aktuelle Version: Nadel-Ausstechsystem mit Magnetbefestigung
Im Schadensfall bei einem Nadel-Ausstechsystem mit Bajonettverschluss muss zwangsläufig auf
die neue Version mit Magnetbefestigung umgerüstet werden (siehe 7.6 "Umbau Nadel-Aus-
stecheinheit Bajonett (alte Version) auf Nadel-Ausstecheinheit Magnetisch (aktuelle Versi-
on)" [}168].
7.5.1.1 Vorbereitende Tätigkeiten
► Fahren Sie den Wafertisch in Wechselposition.
► Fahren Sie die Die-Ejector Z-Achse nach oben.
Abb.198: Nadel-Einheit für Die-Ejector, magnetisch
7 Die-Ejector
7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
158 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.199: Nadel-Einheit für Die Ejector mit Bajonettverschluss (falls noch verwendet)
► Drehen Sie die Nadel-Einheit (1) an der Arretierung heraus.
► Ziehen Sie die schwarze Abdeckkappe (2) ab. Die Nadeln (3) befinden sich unter der Abdeck-
kappe.
ð Die Nadeln werden in vier Sektoren geklemmt. Eine Nadel befindet sich in der Mitte.
► Die Madenschrauben (4) an den vier Segmenten klemmen die Nadeln in der Nadel-Einheit.
Die mittlere Nadel wird mit der unteren Madenschraube (5) geklemmt.
Abb.200: Schematische Darstellung der Nadelposition (Beispiel)
●
Ausstechsystem 5 Nadeln mit 3,5 mm Abstand [00385535-xx]
●
Ausstechsystem 5 Nadeln mit 2 mm Abstand [00386908-xx]
► Bei dem 2x2mm-Nadelkit muss die mittlere Nadelbefestigung mit Gewindestift 2x2mm mit
einem Drehmoment von 10Ncm befestigt werden.
► Montieren Sie je nach Applikation die entsprechenden Nadeln in die Öffnungen der vier Seg-
mente.
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7.5 Mechanische Justage der Die-Ejector-Einheit in Z-Richtung (Fokus)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 159
7.5.1.2 Nadeln einstellen mit Kalibriernormal [03098221-xx] (für Die Ejector, magnetisch)
Hilfsmittel
●
Nadeln (Verschleißteil)
●
Kalibriernormal für Die-Ejector, magnetisch [03098221-xx]
Mit Hilfe des Kalibriernormals für Die-Ejector werden alle Nadeln in eine definierte Höhe und
gemeinsame Ebene eingestellt.
Abb.201: Kalibriernormal für Die-Ejector, magnetisch [03098221-xx]
Vorgehensweise
► Entfernen Sie die schwarze Abdeckkappe von der Nadel-Einheit.
► Stecken Sie alle Nadeln vorsichtig in die Segmente und richten die Nadeln ungefähr in einer
Flucht aus.
► Ziehen Sie die Madenschrauben locker an. Die Nadeln müssen sich noch verschieben lassen.
Abb.202: Kalibriernormal für Die-Ejector, magnetisch
► Legen Sie die Nadel-Einheit in das Kalibriernormal für Die-Ejector (1) ein.
► Legen Sie das Ausstoß-Teil in die Vorrichtung ein. Der mittlere Bolzen der Vorrichtung muss
am Ausstoß-Stößel anliegen und der Bronze-Teil muss leicht federnd an der Radiusnase an-
liegen.
► Drehen Sie das Ausstoß-Teil (Bronze) in die gewünschte Lage.
► Drücken Sie das Bronze-Teil leicht nach unten in die Prismen der Vorrichtung.
► Schieben Sie die Ausstoß-Nadeln in die gewünschten Bohrungen ein (die Gewindestifte müs-
sen gelöst sein).
► Bewegen Sie den zurückfedernden Einstellschlitten in Richtung der Anschlagbolzen und hal-
ten Sie diesen fest.
► Schieben Sie die Ausstoß-Nadeln mit einer Pinzette in Richtung der Einstellungsfläche und
ziehen Sie die Ausstoß-Nadeln mit den Gewindestiften fest (Drehmoment 0,1Nm).