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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 237 Abb.312: ► Stellen Sie den Rachen ein, indem Sie die Einstellschraube mit einem 1,5 mm Inb…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
236 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
10.1.4.3 Haltezylinder der Transfer-X-Achse mechanisch einstellen
Wenn das Kugellager von Segment 1 nicht leichtgängig den Transfer-X-Rachen passiert (Achse
stromlos im Not-Aus-Modus oder SWS ausgeschaltet), dann muss der Haltezylinder mechanisch
eingestellt werden.
Abb.311:
► Öffnen Sie die Kontermutter der Haltezylinder-Ausrichtungsschraube mit Hilfe eines 5,5mm
Gabelschlüssels (siehe Abbildung).
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 237
Abb.312:
► Stellen Sie den Rachen ein, indem Sie die Einstellschraube mit einem 1,5 mm Inbusschlüssel
drehen (siehe Abbildung).
► Wenn Sie die Position des Rachens mit der Einstellschraube nicht so justieren können, dass
das Kugellager von Segment 1 leichtgängig den Transfer-X-Rachen passiert, dann ist unter
Umständen der Rachen in Bezug auf den Flip-Kopf-Laufring verdreht. Lockern Sie dann die
Sicherungsschrauben der Die-Attach-Unit erneut (siehe oben).
► Verschieben Sie die Die-Attach-Unit und drücken Sie diese herunter. Ziehen Sie die drei Si-
cherungsschrauben schrittweise fest.
Manchmal hängt die Die-Attach-Unit am Zentrierbolzen fest. Sie ist dann leicht gekippt und
kann nicht vollständig auf die Grundplatte herunter gesetzt werden. In diesem Fall ist der Ra-
chen der Transfer-X-Achse nicht korrekt ausgerichtet.
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238 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
10.1.4.4 Kabel aufbewahren
Abb.313: Abdeckung und Kabelführung am SWS (2,4) an Stellplatz 2 oder 4.
Abb.314: Abdeckung und Kabelführung am SWS (1, 3) an Stellplatz 1 oder 3.