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18 Anhang 18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 499 Input/Output DMC-1826 = Input/Output für Wafer-Handler PCI - DMC1826 Amplifier-3 AMP19520 Adapterplatine DMC-INT1 "AXIS…
18 Anhang
18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
498 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Amplifier-2 AMP19540(19520)
"AXIS 5-8" Kabel-100pol. "J1 Axis 5-8" "J32 AUX-IO" Kabel-44pol. "X3"
Stecker 100pol. Stecker 100pol. Stecker 44pol. Stecker 44pol. Klemmen
Pin69 = LSCOM Pin69 Pin44 Pin44 -- J3 INC-
X3
INC-X3
Pin70 = IN9 Pin70 Pin24 Pin24 IN9
Pin71 = IN10 Pin71 Pin38 Pin38 IN10
Pin72 = IN11 Pin72 Pin 8 Pin 8 IN11
Pin73 = IN12 Pin73 Pin25 Pin25 IN12
Pin74 = IN13 Pin74 Pin39 Pin39 IN13
Pin75 = IN14 Pin75 Pin 9 Pin 9 IN14
Pin76 = IN15 Pin76 Pin26 Pin26 IN15
Pin77 = IN16 Pin77 Pin40 Pin40 IN16
Pin79 = OUT9 Pin79 Pin20 Pin20 OUT9
Pin80 = OUT10 Pin80 Pin 5 Pin 5 OUT10
Pin81 = OUT11 Pin81 Pin21 Pin21 OUT11
Pin82 = OUT12 Pin82 Pin19 Pin19 OUT12
Pin83 = OUT13 Pin83 Pin 4 Pin 4 OUT13
Pin84 = OUT14 Pin84 Pin 2 Pin 2 OUT14
Pin85 = OUT15 Pin85 Pin18 Pin18 OUT15
Pin86 = OUT16 Pin86 Pin 3 Pin 3 OUT16
"ANALOG-2" ST.15pol. Kabel 15pol. "X4"
Pin91 = in17 Pin91 Pin 2 Pin 2 --- Converter -----
IN17
Pin92 = in18 Pin92 Pin10 Pin10 --- Converter -----
IN18
Pin93 = in19 Pin93 Pin 3 Pin 3 --- Converter ----- IN19
Pin94 = in20 Pin94 Pin11 Pin11 --- Converter ---- IN20
Pin91 = in21 Pin91 Pin 2 Pin 2 --- Converter ----- IN21
Pin92 = in22 Pin92 Pin10 Pin10 --- Converter -----IN22
Pin93 = in23 Pin93 Pin 3 Pin 3 --- Converter ----- IN23
Pin94 = in24 Pin94 Pin11 Pin11 --- Converter -----
IN24
Converter = 24V/PNP-Signal auf 5V/NPN-Signal
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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 499
Input/Output DMC-1826 = Input/Output für Wafer-Handler
PCI - DMC1826 Amplifier-3 AMP19520 Adapterplatine DMC-INT1
"AXIS 9/10" Kabel-100pol. "J1 Axis9/10" "J33 AUX-IO" Kabel-44pol. "X1"
Stecker 100pol. Stecker 100pol. Stecker 44pol. Stecker 44pol. Klemme
Pin69 = LSCOM Pin69 Pin44 Pin44 -- J1 INC-X1--- INC-
X1
Pin70 = IN1 Pin70 Pin24 Pin24 IN1.1
Pin71 = IN2 Pin71 Pin38 Pin38 IN1.2
Pin72 = IN3 Pin72 Pin 8 Pin 8 N1.3
Pin73 = IN4 Pin73 Pin25 Pin25 IN1.4
Pin74 = IN5 Pin74 Pin39 Pin39 IN1.5
Pin75 = IN6 Pin75 Pin 9 Pin 9 N1.6
Pin76 = IN7 Pin76 Pin26 Pin26 IN1.7
Pin77 = IN8 Pin77 Pin40 Pin40 IN1.8
Pin79 = OUT1 Pin79 Pin20 Pin20 OUT1.1
Pin80 = OUT2 Pin80 Pin 5 Pin 5 OUT1.2
Pin81 = OUT3 Pin81 Pin21 Pin21 OUT1.3
Pin82 = OUT4 Pin82 Pin19 Pin19 OUT1.4
Pin83 = OUT5 Pin83 Pin 4 Pin 4 OUT1.1
Pin84 = OUT6 Pin84 Pin 2 Pin 2 OUT1.2
Pin85 = OUT7 Pin85 Pin18 Pin18 OUT1.3
Pin86 = OUT8 Pin86 Pin 3 Pin 3 OUT1.4
18.4.3 Steuerplatine USB-IO Rev.1(2) (150 x 65mm), Einbauort: Flip-Unit
Diese bedient die In-/Outputs für das Flip und Die-Attach-Unit.
Anschlüsse für:
●
Interface für USB, CAN (Stiftleiste 10pol.), RS232 (Stiftleiste 10pol.)
●
8x Digital-Input PNP/24V, Stecker STI1, STI2 (2x Stiftleiste 12pol.)
●
8x Digital-Output PNP/24V, /max2A / p-schaltend / Stecker-STO1(Stiftleiste 16pol.)
●
8x Analog-Output, AO1-4 = STA1 (4x LED-Light), AO5-8 = STA2 (4x LED-Light)
●
8x Analog-Input, AI1-3 = Vakuumsensor, AI4/AI5 = Klemme für Tool hight-control AI6/AI7/AI8
AO4/AO8 = STA3 (Stiftleiste 12pol.)
●
1x Stecker ST-DS (Stiftleiste 6pol.) = Digital-Input 5V/NPN, Digital-Output 5V/NPN
●
13x Klemmen (grau) X2…X15 für externe Signalleitungen, kommend über ST13
●
6x Klemmen (grau) GND, 6x Klemmen (orange) 24V, abgesichert über F1/3,0AT.
18.4.4 USB-IO generelle Beschreibung
Die Kommunikation der Platine erfolgt über USB-2.0 direkt mit dem Steuerrechner.
Die vorhandenen Schnittstellen "CAN" und "RS232" sind für Service Applikationen vorgesehen.
Die Versorgungsspannung 24VDC wird über den Stecker X13 zugeführt, und ist mit der Sicherung
F1/3,15AT abgesichert.
Über einen DC-DC-Konverter 24V auf 5V wird die Kontrollsteuerung mit dem Prozessor
ADUC841PQFP versorgt.
Das Programm kann über den Taster "RESET" (NICHT VERWENDEN!) zurückgesetzt werden.
Die Taste "PENA" dient nur zum Programmieren des Systems.
Die In/Outputs steuern die komplette Pneumatiksteuerung für Flip- und Die-Attach-Unit.
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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
500 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Mit den drei integrierten Vakuumsensoren "40PC015V2A" mit Analogausgang 0 bis 4,8V wird die
Abfrage für Chip-vorhanden / Chip nicht vorhanden kontrolliert.
Die Höhenkontrolle für die zwei Flip-Tools wird über die Hall-Sensoren "HAL815K" mit Analogaus-
gang 0,5 bis 4,75V über die Eingänge AI4 und AI5 kontrolliert.
Über Messpunkte können die acht analogen Eingänge AI1, AI2…..AI8 gegen GND kontrolliert werden.
Die Beleuchtungssteuerung (LED) für die Waferkamera erfolgt über zwei Flachbandstecker "STA1"
und "STA2".
Die LED-Ansteuerung der zwei Platinen "Dunkelfeld" und "Hellfeld" wird mit jeweils vier Analog-
Ausgängen "ILEDx" mittels Stromregelung versorgt.
Beim Einbau einer Dip-Unit (= Option) erfolgt die Kommunikation mit zwei IN/OUT mittels Hand-
check.
Die Versorgung und Kontrolle für den optionalen Einbau eines BE-Sensors (= optische Bauteiler-
kennung in der Toolbewegung Pick-Z ) erfolgt über den Stecker "ST-DS".
Der Sensor wird mit 5VDC versorgt.
Die Kontrolle erfolgt mit den Signalen "Teach" und "Sens" (= 5V/NPN-Signale).
Das "Sens" Signal wird an die Motorsteuerung "Latch-input" durchgereicht und in Verbindung mit
dem Encoderwert die "Chip-vorhanden-Kontrolle" ausgewertet.
Die zusätzlichen Klemmen X2 bis X15 sind Direktverbindungen zum Stecker X13 für IO-Handling
von der Galil-Steuerung.
18.4.5 Select-Liste DMC-IN/OUT
DMC1886(66)
IN1 = Not-Aus vom SWS (Signal = 1 Not-Aus nicht gedrückt, Signal = 0 Not-Aus gedrückt)
IN2 = Kontrollsensor Haupt-Druckluft (Signal = 1, Druckluft vorhanden, größer 3,5bar)
IN3 = Reserve X16 (Rev.0 = Main-Vakuum-Kontrolle)
IN4 = Latch-Input-Hight-Control (Ausgangssignal von der USB-IO-Platine)
IN5 = Zylinderabfrage Die-Ejector Z-Hub in unterer Position (Signal = 1)
IN6 = Zylinderabfrage Die-Ejector Z-Hub in oberer Position (Signal = 1)
IN7 = (nur für SWS8") Zylinderabfrage Die-Ejector Mitnehmer-Pin ist eingefahren (Signal =1)
IN8 = (nur für SWS8") Zylinderabfrage Die-Ejector Mitnehmer-Pin ist ausgefahren (Signal =1)
IN9 = Kontrollsensor für Wafer außerhalb der zentrierten Tischposition (Signal = 1)
IN10 = Latch-Input optischer Bauteil-Sensor (1 = Lichtschranke frei, 0 = Lichtschranke unterbro-
chen) und Latch-Input-Hight-Control (Ausgangssignal von der USB-IO-Platine)
IN11 = Sensor für die Erkennung Waferaufnahme 12" Signal = 1, Waferaufnahme 8", Signal = 0
IN12 = Zylinderabfrage Wafer-Klemmung ist geöffnet (Signal = 1)
IN13 = Zylinderabfrage Wafer-Klemmung ist geschlossen (Signal = 1)
IN14 = Kontrollsensor für Wafer in korrekter (zentrierter) Tischposition (Signal = 1)
IN15 = Hauptschütze K1/K2 sind eingeschaltet und 48VDC für Motoren sind vorhanden (Signal =1)
IN16 = Not-Aus-Signal generell (Signal = 1 Not-Aus nicht gedrückt, Signal = 0 Not-Aus gedrückt)
*** Erkennung des Not-Aus-Signals von der SIPLACE (Signal IN16 = 0 und Signal IN1 = 1) **
IN17 = Pneumatik-Wafer-Expander ist geöffnet (Signal = 1) *** Expander = Optional ***
IN18 = Pneumatik-Wafer-Expander ist geschlossen (Signal = 1) (Identify-Expander = IN17 oder
IN18=1)
IN19 = (nur SWS8") Kontrollsensor für Die-Ejector in Vorschub Arbeitsposition (Signal = 1)
IN20 = Reserve X16
IN21 = Reserve X16
IN22 = Reserve X16
IN24 = Schlüsselschalter (Signal = 1, Schlüsselschalter ist aktiviert für Servicefunktion