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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 223 Abb.288: ► Entfernen Sie die Verschlussstopfen von den Druckluftanschlüssen. Abb.289: ► N…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
222 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.286:
► Bewahren Sie das Füllstück auf, indem Sie es, wie gezeigt, am Die-Attach-Modul montieren.
Abb.287:
► Entfernen Sie die Dichtungskappe vom schwarzen Vakuumschlauch.
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10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 223
Abb.288:
► Entfernen Sie die Verschlussstopfen von den Druckluftanschlüssen.
Abb.289:
► Nehmen Sie den Flip-Chip-Abwurfbehälter für Segment 1 heraus.
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224 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.290:
► Legen Sie die ausgebauten Teile in einen Beutel und verstauen Sie den Beutel im Flip-Chip-
Abwurfbehälter. Bewahren Sie alles in der SWS-Service-Box auf, damit Sie die Teile parat
haben, wenn Sie die Die-Attach-Unit wieder ausbauen.