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18 Anhang 18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT 500 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Mit den drei integrierten Vakuumsensoren "40PC015V2A" mit Analogausgang 0 bis 4,8V wird die Abfrage für Chip-vorh…
18 Anhang
18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 499
Input/Output DMC-1826 = Input/Output für Wafer-Handler
PCI - DMC1826 Amplifier-3 AMP19520 Adapterplatine DMC-INT1
"AXIS 9/10" Kabel-100pol. "J1 Axis9/10" "J33 AUX-IO" Kabel-44pol. "X1"
Stecker 100pol. Stecker 100pol. Stecker 44pol. Stecker 44pol. Klemme
Pin69 = LSCOM Pin69 Pin44 Pin44 -- J1 INC-X1--- INC-
X1
Pin70 = IN1 Pin70 Pin24 Pin24 IN1.1
Pin71 = IN2 Pin71 Pin38 Pin38 IN1.2
Pin72 = IN3 Pin72 Pin 8 Pin 8 N1.3
Pin73 = IN4 Pin73 Pin25 Pin25 IN1.4
Pin74 = IN5 Pin74 Pin39 Pin39 IN1.5
Pin75 = IN6 Pin75 Pin 9 Pin 9 N1.6
Pin76 = IN7 Pin76 Pin26 Pin26 IN1.7
Pin77 = IN8 Pin77 Pin40 Pin40 IN1.8
Pin79 = OUT1 Pin79 Pin20 Pin20 OUT1.1
Pin80 = OUT2 Pin80 Pin 5 Pin 5 OUT1.2
Pin81 = OUT3 Pin81 Pin21 Pin21 OUT1.3
Pin82 = OUT4 Pin82 Pin19 Pin19 OUT1.4
Pin83 = OUT5 Pin83 Pin 4 Pin 4 OUT1.1
Pin84 = OUT6 Pin84 Pin 2 Pin 2 OUT1.2
Pin85 = OUT7 Pin85 Pin18 Pin18 OUT1.3
Pin86 = OUT8 Pin86 Pin 3 Pin 3 OUT1.4
18.4.3 Steuerplatine USB-IO Rev.1(2) (150 x 65mm), Einbauort: Flip-Unit
Diese bedient die In-/Outputs für das Flip und Die-Attach-Unit.
Anschlüsse für:
●
Interface für USB, CAN (Stiftleiste 10pol.), RS232 (Stiftleiste 10pol.)
●
8x Digital-Input PNP/24V, Stecker STI1, STI2 (2x Stiftleiste 12pol.)
●
8x Digital-Output PNP/24V, /max2A / p-schaltend / Stecker-STO1(Stiftleiste 16pol.)
●
8x Analog-Output, AO1-4 = STA1 (4x LED-Light), AO5-8 = STA2 (4x LED-Light)
●
8x Analog-Input, AI1-3 = Vakuumsensor, AI4/AI5 = Klemme für Tool hight-control AI6/AI7/AI8
AO4/AO8 = STA3 (Stiftleiste 12pol.)
●
1x Stecker ST-DS (Stiftleiste 6pol.) = Digital-Input 5V/NPN, Digital-Output 5V/NPN
●
13x Klemmen (grau) X2…X15 für externe Signalleitungen, kommend über ST13
●
6x Klemmen (grau) GND, 6x Klemmen (orange) 24V, abgesichert über F1/3,0AT.
18.4.4 USB-IO generelle Beschreibung
Die Kommunikation der Platine erfolgt über USB-2.0 direkt mit dem Steuerrechner.
Die vorhandenen Schnittstellen "CAN" und "RS232" sind für Service Applikationen vorgesehen.
Die Versorgungsspannung 24VDC wird über den Stecker X13 zugeführt, und ist mit der Sicherung
F1/3,15AT abgesichert.
Über einen DC-DC-Konverter 24V auf 5V wird die Kontrollsteuerung mit dem Prozessor
ADUC841PQFP versorgt.
Das Programm kann über den Taster "RESET" (NICHT VERWENDEN!) zurückgesetzt werden.
Die Taste "PENA" dient nur zum Programmieren des Systems.
Die In/Outputs steuern die komplette Pneumatiksteuerung für Flip- und Die-Attach-Unit.
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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
500 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Mit den drei integrierten Vakuumsensoren "40PC015V2A" mit Analogausgang 0 bis 4,8V wird die
Abfrage für Chip-vorhanden / Chip nicht vorhanden kontrolliert.
Die Höhenkontrolle für die zwei Flip-Tools wird über die Hall-Sensoren "HAL815K" mit Analogaus-
gang 0,5 bis 4,75V über die Eingänge AI4 und AI5 kontrolliert.
Über Messpunkte können die acht analogen Eingänge AI1, AI2…..AI8 gegen GND kontrolliert werden.
Die Beleuchtungssteuerung (LED) für die Waferkamera erfolgt über zwei Flachbandstecker "STA1"
und "STA2".
Die LED-Ansteuerung der zwei Platinen "Dunkelfeld" und "Hellfeld" wird mit jeweils vier Analog-
Ausgängen "ILEDx" mittels Stromregelung versorgt.
Beim Einbau einer Dip-Unit (= Option) erfolgt die Kommunikation mit zwei IN/OUT mittels Hand-
check.
Die Versorgung und Kontrolle für den optionalen Einbau eines BE-Sensors (= optische Bauteiler-
kennung in der Toolbewegung Pick-Z ) erfolgt über den Stecker "ST-DS".
Der Sensor wird mit 5VDC versorgt.
Die Kontrolle erfolgt mit den Signalen "Teach" und "Sens" (= 5V/NPN-Signale).
Das "Sens" Signal wird an die Motorsteuerung "Latch-input" durchgereicht und in Verbindung mit
dem Encoderwert die "Chip-vorhanden-Kontrolle" ausgewertet.
Die zusätzlichen Klemmen X2 bis X15 sind Direktverbindungen zum Stecker X13 für IO-Handling
von der Galil-Steuerung.
18.4.5 Select-Liste DMC-IN/OUT
DMC1886(66)
IN1 = Not-Aus vom SWS (Signal = 1 Not-Aus nicht gedrückt, Signal = 0 Not-Aus gedrückt)
IN2 = Kontrollsensor Haupt-Druckluft (Signal = 1, Druckluft vorhanden, größer 3,5bar)
IN3 = Reserve X16 (Rev.0 = Main-Vakuum-Kontrolle)
IN4 = Latch-Input-Hight-Control (Ausgangssignal von der USB-IO-Platine)
IN5 = Zylinderabfrage Die-Ejector Z-Hub in unterer Position (Signal = 1)
IN6 = Zylinderabfrage Die-Ejector Z-Hub in oberer Position (Signal = 1)
IN7 = (nur für SWS8") Zylinderabfrage Die-Ejector Mitnehmer-Pin ist eingefahren (Signal =1)
IN8 = (nur für SWS8") Zylinderabfrage Die-Ejector Mitnehmer-Pin ist ausgefahren (Signal =1)
IN9 = Kontrollsensor für Wafer außerhalb der zentrierten Tischposition (Signal = 1)
IN10 = Latch-Input optischer Bauteil-Sensor (1 = Lichtschranke frei, 0 = Lichtschranke unterbro-
chen) und Latch-Input-Hight-Control (Ausgangssignal von der USB-IO-Platine)
IN11 = Sensor für die Erkennung Waferaufnahme 12" Signal = 1, Waferaufnahme 8", Signal = 0
IN12 = Zylinderabfrage Wafer-Klemmung ist geöffnet (Signal = 1)
IN13 = Zylinderabfrage Wafer-Klemmung ist geschlossen (Signal = 1)
IN14 = Kontrollsensor für Wafer in korrekter (zentrierter) Tischposition (Signal = 1)
IN15 = Hauptschütze K1/K2 sind eingeschaltet und 48VDC für Motoren sind vorhanden (Signal =1)
IN16 = Not-Aus-Signal generell (Signal = 1 Not-Aus nicht gedrückt, Signal = 0 Not-Aus gedrückt)
*** Erkennung des Not-Aus-Signals von der SIPLACE (Signal IN16 = 0 und Signal IN1 = 1) **
IN17 = Pneumatik-Wafer-Expander ist geöffnet (Signal = 1) *** Expander = Optional ***
IN18 = Pneumatik-Wafer-Expander ist geschlossen (Signal = 1) (Identify-Expander = IN17 oder
IN18=1)
IN19 = (nur SWS8") Kontrollsensor für Die-Ejector in Vorschub Arbeitsposition (Signal = 1)
IN20 = Reserve X16
IN21 = Reserve X16
IN22 = Reserve X16
IN24 = Schlüsselschalter (Signal = 1, Schlüsselschalter ist aktiviert für Servicefunktion
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18.4 Kontrollsteuerung IN/OUT
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 501
OUT1 = Relais K4 100ms Ein/Ausschalten (Not-Aus wird zurücksetzt)
OUT2 = Ventil Haupt-Pressluft (Ausgang = 1, Pressluft ist eingeschaltet)
OUT3 = Vakuumpumpe (Ausgang =1, Vakuum ist eingeschaltet über Leistungsrelais OK7)
OUT4 = Ventil für Zylinder Wafer-Expander öffnen *** Expander = Optional***
OUT5 = Ventil für Zylinder Wafer-Expander schließen
OUT6 = Reserve X11, X16
OUT7 = Ventil für Zylinder Die-Ejector Z-Hub (Ausgang = 1, Z-Hub nach oben)
OUT8 = Ventil für Zylinder Die-Ejector Mitnehmer-Pin (Ausgang = 1, Mitnehmer-Pin ist Ausgefah-
ren)
OUT9 = Ventil für Zylinder Wafer-Klemmung (Ausgang = 1, Klemmung ist geschlossen)
OUT10 = Vakuumventil für Die-Ejector (Ansaugung Waferfolie) (Ausgang = 1, Vakuum = ein)
OUT11 = Reserve X13, X16
OUT12 = Enable - optischer Bauteil-Sensor (1= Enable-Laser) *** Optional für kleine Chip ***
OUT13 = Ventil für Rückhaltezylinder Flip-Tool-Z (Ausgang über K1 = 1, Zylinder ist unten)
OUT14 = Ventil für Klemmzylinder Flip-Tool-X (Ausgang über K2 = 1, Klemmung ist offen)
OUT15 = Reserve X16
OUT16 = Relais K4, Anwesenheitssignal für SIPLACE (Ausgang = 1, CSM ist anwesend)
DMC1826
IN1.1 = Kontrollsensor für Waferabfrage in der Kassette (Signal = 1, Wafer ist present)
IN1.2 = Kontrolle Waferheizung (Signal = 1)
IN1.3 = Türschalter Waferlift (Signal = 1, Türe ist geschlossen)
IN1.4 = 2x Schalter (8", 12") für Waferkassette (Signal = 1, Kassette in Waferlift vorhanden)
IN1.5 = Sensor für Wafergreifer in oberer Position (Signal = 1)
IN1.6 = Sensor für Wafergreifer in unterer Position (Signal = 1)
IN1.7 = Sensor für Wafergreifer geöffnet (Signal = 1)
IN1.8 = Sensor für Wafergreifer geschlossen, Wafer ist in Greifer (Signal = 1)
*** IN1.7 und IN1.8 beide Signale sind 0, Wafergreifer ist geschlossen ohne Wafer ***
OUT1.1 = Reserve
OUT1.2 = Ventil Wafergreifer für oben/unten Position (Ausgang = 1, = unten Position)
OUT1.3 = Ventil Wafergreifer für offen/geschlossen (Ausgang = 1, = Greifer geschlossen)
OUT1.4 = Reserve
OUT1.5 = Waferheizung Sicherheits-Zeitrelais (on/off 300ms) ** Waferheizung = optional **
OUT1.6 = Waferheizung-1 (Heizspirale 1000W)
OUT1.7 = Waferheizung-2 (Heizspirale 1000W)
OUT1.8 = Querstromlüfter Waferheizung