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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 399 Abb.570: ► Die Magazin-Platte sollte nun den Slot-Sensor aktivieren (siehe Abbildungen). ► Die LED …

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
398 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4.1.2 Magazin-Slot-Scan-Position kalibrieren
Der Slot-Scan-Sensor erkennt für jeden Slot, ob sich ein Wafer-Rahmen im Magazin befindet.
Das Magazin wird gescannt, wenn eine der folgenden Bedingungen zutrifft:
●
Ein neues Magazin ist in den Waferlift eingelegt.
●
Das System wurde initialisiert und ein Magazin befindet sich im Lift.
●
In der Ansicht Products ist Scan magazine ausgewählt.
Abb.568:
► Wählen Sie Calibrate wafer presence sensor, um die Position des Wafer-Vorhanden-Sen-
sors in Bezug auf das Magazin zu kalibrieren.
ð Die Kalibrierreihenfolge läuft automatisch.
ð Die Hub-Achse verfährt, bis die Magazinplatte den Slot-Scan-Sensor aktiviert. Von dieser
Position wird die finale Position für den Slot-Scan-Sensor berechnet.
► Wählen Sie die Registerkarte Positions, um zu prüfen, ob die kalibrierte Position richtig ist.
Abb.569:
► Wählen Sie Go to position neben Slot scan position.
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 399
Abb.570:
► Die Magazin-Platte sollte nun den Slot-Sensor aktivieren (siehe Abbildungen).
► Die LED muss an sein (2).
Abb.571:
► Wenn der Sensor aus ist ((1) in obiger Abbildung), kann die Position der Magazinplatte mit
den Pfeiltasten verfahren werden (siehe in obiger Abbildung).
► Bevor Sie nach oben oder unten verfahren, wählen Sie die Schrittgröße (z.B. 100µm).
► Verfahren Sie die Hub-Achse nach oben, bis die Sensor-LED an ist.
ð Der letzte Schritt, bevor die LED einschaltet, sollte nicht größer als 100µm sein.
► Wenn die korrekte Position gefunden ist, wählen Sie Save neben Slot scan position.
HINWEIS
Wenn Sie 12" Wafer verwenden, biegen sich die Rahmen möglicherweise bis zu 500µm
durch. Wenn Sie auf Probleme beim Wechseln der 12er Wafer stoßen, korrigieren Sie die
Slot-Scan-Position um ca. 500µm nach oben.
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
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15.4.1.3 Wafer-Übergabeposition des Magazins in Bezug auf den Wafertisch kalibrieren
WARNUNG
► Bevor Sie den Wafertisch manuell verschieben, prüfen Sie die Position der Die-Ejec-
tor-Baugruppe.
► Die Die-Ejector-Baugruppe MUSS in der unteren Position sein, andernfalls kann es
beim manuellen Verschieben des Wafertisches zu schweren Schäden kommen.
Die Wafer transfer position ist die Position der Wafer-Hub-Achse, in der die Schiene des Waferti-
sches (Ebene auf Höhe der Wafer-Rahmen-Unterseite) an der oberen Kante der Magazinplatte
ausgerichtet wird.
Diese Position wird verwendet, um die Slot-Positionen für jeden Magazintyp zu berechnen.
Der Magazintyp wird in der GUI definiert und programmiert (neuen Magazintyp definieren).
Alle Dimensionen, wie Slot-Teilung, Position des ersten Slots und so weiter, sind definiert und wer-
den basierend auf der Wafer-Übergabeposition für die Kalkulation der Slot-Positionen verwendet.
Im Moment gibt es kein automatisches Kalibrierungsmenü.
Abb.572:
► Wählen Sie Go to position Button neben Wafer transfer position.
► Der Magazinlift fährt in die ungefähre Wafer-Übergabeposition.
Abb.573: