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15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling 402 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.576: (1) Wafertisch-Schiene (2) Magazinplatte (3) Metall-Lineal ► Legen Sie ein Metall-Lineal (…

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 401
► Der Die-Ejector muss in der unteren Position sein.
Wenn nicht, fahren Sie ihn mit Hilfe der Software nach unten.
Abb.574:
► Fahren Sie den Wafertisch manuell in eine Position, in der eine Schiene eine direkte Transfer-
Position zur Magazinplatte hat.
Abb.575:
► Suchen Sie nach einem freien Bereich ohne Stopp-Platten.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
402 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.576:
(1) Wafertisch-Schiene
(2) Magazinplatte
(3) Metall-Lineal
► Legen Sie ein Metall-Lineal (3) auf die Führungsschiene.
Abb.577:
► Verwenden Sie den Manipulator und verfahren Sie den Waferlift langsam, bis Sie auf dersel-
ben Ebene sind.
WARNUNG
Achten Sie auf die sich bewegende Hub-Achse!
► Bringen Sie niemals Ihre Finger in den Bereich des Lifts.
► Verwenden Sie immer ein Metall-Lineal!
► Verwenden Sie kleine Schritte (z.B. 100µm oder 500µm), um die Wafer-Übergabeposition
einzustellen.
► Wählen Sie Save neben Wafer transfer position, um die Position zu speichern
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15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 403
15.4.1.4 Waferlift-Position kalibrieren - Magazinlift-Wechsel-Position
Abb.578:
► (1) Wählen Sie Go to position Button neben Magazine change position, um die Hub-Achse
in diese Position zu fahren.
► (2) Die Kunststoffschiene an der Magazinplatte und die am Lift-Rahmen sollten nun auf der-
selben Ebene sein (siehe im Bild unten).
Abb.579:
► (3) Wenn nicht, korrigieren Sie die Position mit den Auf- und Ab-Pfeiltasten, nachdem Sie die
geeignete Schrittgröße gewählt haben.