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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch 72 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.50: 24V und GND sind auf die Versorgungsanschlüsse (ungeordnet) gelegt. 5.3 Teiletausch Vorbereitung ► Fahren Sie den D…

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5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 71
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung Anmerkung
1 00379046-xx Adapter-Platine Wafertisch AD-WT Rev.0
2 00386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE RL1
3 00386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE FL1
4 00384820-xx Gabellichtschranke (Home-Sensor X-Achse) HO1
5 Betätiger für Näherungsschalter X-Achse
6 00386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE RL2
7 00386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE FL2
8 00384820-xx Gabellichtschranke (Home-Sensor Y-Achse) HO2
9 Betätiger für Näherungsschalter Y-Achse
Auf der Adapterplatine Wafertisch AD-WT REv.0 [00379046-xx] laufen die Sensoren zusammen.
Abb.49:
Die Näherungsschalter RL1 und FL1 und die beiden Home-Sensoren HO1 und HO2 kommen von
einer Seite (im Beispiel SWS 2/4 von links).
Die Näherungsschalter RL2 und FL kommen von einer Seite (im Beispiel SWS 2/4 von rechts).
Die Kabel der Sensoren verlaufen unterhalb der dicken Grundplatte.
Die Kabel der Sensoren werden wie folgt angesteckt:
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
72 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.50:
24V und GND sind auf die Versorgungsanschlüsse (ungeordnet) gelegt.
5.3 Teiletausch
Vorbereitung
► Fahren Sie den Die-Ejector mit Hilfe der Software in die untere Position.
► Verwenden Sie hierzu den Software-Button
.
► Danach fahren Sie den SWS mithilfe des Buttons Shut Down machine herunter und schalten
den SWS aus.
Hilfsmittel
●
Standardwerkzeug
●
Kabelbinder
●
Wirkschaltplanmappe
●
[00334892-xx] Loctite 243 Schraubensicherung, mittelfest
Sonderhilfsmittel
●
T-Inbusschlüssel 2,5mm
●
Inbus 3mm, gekürzt
5.3.1 Tausch Y-Motor mit Kupplung
Zum Tausch des Y-Motors muss der Die-Ejector in der unteren sicheren Position stehen und der
SWS ausgeschalten sein.
► Trennen Sie den SWS von der Stromversorgung!
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 73
► Verschieben Sie nun manuell den gesamten Wafertisch, bis der Y-Motor auf der Grundeinheit
frei zugänglich ist und der Wafertisch in nächster Position zum Waferlift steht (Anschlag Y-
Achse Waferlift)!
So wird sichergestellt, dass die Spindel und das Lager möglichst weit freiliegend zum Y-Motor sind.
So kann später die Motor-Kupplungseinheit zur Demontage leicht angehoben werden!
5.3.1.1 Demontage Y-Motor mit Kupplung
Abb.51:
► Entfernen Sie das Frontblech und stecken Sie die internen CAT5-Kabel ab.
Abb.52:
► Entfernen Sie das Abdeckblech der Platine "Platine AD-MOT Rev.0 Sub-D = abgewinkelt"
neben dem Y‑Motor.