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15 Kalibrierung 15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software) 368 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 15.2.2 Nachrüstkonzept für den Setup-Modus 4 polig 4 polig 4 polig 4 polig 4 polig 4…

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15 Kalibrierung
15.1 Allgemeines
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 367
15 Kalibrierung
15.1 Allgemeines
VORSICHT
Bevor Sie eine Kalibrierung starten
► Erstellen Sie eine Sicherung der Maschinendaten (siehe 15.5.1 "Maschinen-
daten" [}414]).
► Erstellen Sie eine Sicherung der Produktdaten (siehe 15.5.2 "Produktdaten" [}415]).
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und
Software)
15.2.1 Vorbedingung
Die Hardware-Nachrüstung entsprechend der technischen Information TI2016-11C08 (Kapitel 4.2)
muss durchgeführt worden sein.
Für eine Reihe von Tätigkeiten im Setup-Modus muss der Not-Aus-Kreis überbrückt werden, damit
bei geöffneter Haube Funktionen getestet und Einstellungen gemacht werden können.
Um trotzdem ein adäquates Maß an Sicherheit zu gewährleisten, muss sichergestellt sein, dass
sich die Achsen des Wafertisches nicht bewegen können.
Um dies zu ermöglichen, wird ein zusätzlicher Stromkreis eingebaut.
So wird es möglich, die Motoren des Wafertisches während der Arbeiten im Setup-Modus zu deak-
tivieren.
WARNUNG
Gefahr schwerer Verletzungen!
Auch im Setup-Modus ist die Hubachse immer noch aktiviert.
► Stecken Sie keine Finger in den Haubenspalt am Lift!
15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
368 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.2.2 Nachrüstkonzept für den Setup-Modus
Abb.518:
15 Kalibrierung
15.2 Aktivierung des Setup-Modus am SWS (Hardware und Software)
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 369
15.2.3 Vorbereitung der Software
Um für die Aktivierung des Setup-Modus die Montageplatte zugänglich zu machen, muss sich der
Magazinlift in der Position Magazinwechsel befinden.
Die folgenden Schritte müssen durchgeführt werden:
Abb.519:
► Wählen Sie Settings (1).
► Wählen Sie User Settings (2).
► Wählen Sie Machine Service (3).
► Geben Sie das Kennwort (4) für die Bedienebene Machine Service ein → service1
► Wählen Sie Login (5).
Abb.520:
► Wählen Sie Service (6).
► Wählen Sie Calibration of wafer changer (7).