00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第397页

15 Kalibrierung 15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 397 Abb.566: ► Wählen Sie Waferlift calibration (3) . Abb.567: ► Wählen Sie Calibrate magazine lift li…

100%1 / 510
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
396 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Vorbedingung
Das SWS muss komplett initialisiert sein!
Wenn die Initialisierung nicht erfolgreich ist, schlagen Sie in Abschnitt 17 "Tipps und Tricks" [}477]
nach.
Arbeitsschritte
Die Kalibrierung ist in drei Module aufgeteilt und muss in der unten stehenden Reihenfolge durch-
geführt werden:
●
15.4.1 "Waferlift kalibrieren" [}396]
●
15.4.1.1 "Endpositionen des Magazinlifts kalibrieren" [}396]
●
15.4.1.2 "Magazin-Slot-Scan-Position kalibrieren" [}398]
●
15.4.1.3 "Wafer-Übergabeposition des Magazins in Bezug auf den Wafertisch kalibrie-
ren" [}400]
●
15.4.2 "Menü Wafertisch-Kalibrierung" [}404]
●
15.4.3 "Menü Wafer-Wechsel-Kalibrierung" [}412]
15.4.1 Waferlift kalibrieren
HOHE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus muss aktiviert sein!
Die Kalibrierung ist in drei Module aufgeteilt und muss in der unten stehenden Reihenfolge durch-
geführt werden:
●
15.4.1.1 "Endpositionen des Magazinlifts kalibrieren" [}396]
●
15.4.1.2 "Magazin-Slot-Scan-Position kalibrieren" [}398]
●
15.4.1.3 "Wafer-Übergabeposition des Magazins in Bezug auf den Wafertisch kalibrie-
ren" [}400]
15.4.1.1 Endpositionen des Magazinlifts kalibrieren
Abb.565:
► Wählen Sie Calibration (1).
► Wählen Sie Calibration of wafer changer (2).
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 397
Abb.566:
► Wählen Sie Waferlift calibration (3).
Abb.567:
► Wählen Sie Calibrate magazine lift limits.
ð Die Hub-Achse erkennt den oberen (vorwärts) und unteren (rückwärts) Endschalter der
Liftachse.
15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
398 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
15.4.1.2 Magazin-Slot-Scan-Position kalibrieren
Der Slot-Scan-Sensor erkennt für jeden Slot, ob sich ein Wafer-Rahmen im Magazin befindet.
Das Magazin wird gescannt, wenn eine der folgenden Bedingungen zutrifft:
●
Ein neues Magazin ist in den Waferlift eingelegt.
●
Das System wurde initialisiert und ein Magazin befindet sich im Lift.
●
In der Ansicht Products ist Scan magazine ausgewählt.
Abb.568:
► Wählen Sie Calibrate wafer presence sensor, um die Position des Wafer-Vorhanden-Sen-
sors in Bezug auf das Magazin zu kalibrieren.
ð Die Kalibrierreihenfolge läuft automatisch.
ð Die Hub-Achse verfährt, bis die Magazinplatte den Slot-Scan-Sensor aktiviert. Von dieser
Position wird die finale Position für den Slot-Scan-Sensor berechnet.
► Wählen Sie die Registerkarte Positions, um zu prüfen, ob die kalibrierte Position richtig ist.
Abb.569:
► Wählen Sie Go to position neben Slot scan position.