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12 Wafer-Stretcher 12.4 Ausbau Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 293 Abb.404: Abb.405: ► Ziehen Sie den Steckers X11 (1) ab. ► Ziehen Sie die Druckluftleitung (2) ab. Abb.406: ► Schra…
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12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
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12.4.4 Demontage an Wafer-Wechsler-Seite
Abb.402:
► Schieben Sie den Wafer-Stretcher auf die andere Seite.
Achten Sie dabei auf Die-Ejector und Wafer-Wechsler (Greifer).
Abb.403:
► Schieben Sie den Wafer-Stretcher bis zum Ende.
► Entfernen Sie die sechs Befestigungsschrauben des Abdeckbleches (1).
► Nehmen Sie das Abdeckblech ab.
Folgende Verbindungen müssen wie folgt gelöst werden:
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Abb.404:
Abb.405:
► Ziehen Sie den Steckers X11 (1) ab.
► Ziehen Sie die Druckluftleitung (2) ab.
Abb.406:
► Schrauben Sie die Masseverbindung (3) ab.
► Demontieren Sie die Energiekette (4) → verdeckt.
► Eventuell müssen noch diverse Kabelbinder geöffnet werden, um die Verbindungen sauber
lösen zu können.
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Abb.407:
Demontieren Sie den Anwesenheitssensors 8“/12“ (5) wie folgt:
► Merken Sie sich die Einbauausrichtung des Sensors!
► Entfernen Sie die Schraube (von unten erreichbar).
Abb.408:
► Ziehen Sie den Wafer-Stretcher wieder vorsichtig auf die Wafer-Turm-Seite.
Achten Sie darauf, dass die vorherig demontierten Kabel sich nirgends verhaken.