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8 Flip-Unit 8.4 Kalibrierung – Flip-Unit 190 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 8.4.4.4 Korrektur in Y-Richtung (Segment 1) In Y-Richtung kann die Korrektur des Offsets nur über die Einstellmutter am ent…
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 189
8.4.4.3 Korrektur in X-Richtung (Segment 2)
Für die Korrektur in X-Richtung (Drehrichtung des Flip-Kopfes) gibt es zwei Möglichkeiten:
●
(1) Korrektur des X-Offsets in der SWS-GUI über den Parameter Offset segment 2 (siehe
15.3.2.4 "Kalibrierung - Segment-Offset in X-Richtung kalibrieren" [}385]).
Ein positiver Offset-Eintrag verschiebt den Abdruck nach links, ein negativer Offset-Eintrag
nach rechts.
●
(2) Verschieben des Abdrucks über die Einstellmutter am Segment.
Zum Verstellen der Einstellmutter muss zuerst die Konterschraube gelockert werden (s.u.).
Abb.246: Segment 2 - Lockern der Konterschraube (X-Richtung)
► Halten Sie die Einstellmutter mit dem Gabelschlüssel fest und Lockern Sie die Konter-
schraube mit dem Inbusschlüssel.
Abb.247: Segment 2 - Drehen der X-Einstellmutter
Durch Drehen der Einstellmutter kann der Segment-Offset korrigiert werden:
Einstellung gültig für Segment 2:
●
Verschieben des Abdrucks nach rechts -> Drehen der X-Einstellmutter im Uhrzeigersinn.
●
Verschieben des Abdrucks nach links -> Drehen der X-Einstellmutter gegen Uhrzeigersinn.
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190 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
8.4.4.4 Korrektur in Y-Richtung (Segment 1)
In Y-Richtung kann die Korrektur des Offsets nur über die Einstellmutter am entsprechenden Seg-
ment erfolgen.
Zum Verstellen der Einstellmutter muss zuerst die Konterschraube gelockert werden (s.u.).
Abb.248: Segment 2 - Lockern/Anziehen der Konterschraube (Y-Richtung)
► Halten Sie die Einstellmutter mit dem Gabelschlüssel fest und lockern Sie die Konterschraube
mit dem Inbusschlüssel.
Abb.249: Segment 2 - Drehen der Einstellschraube (Y-Richtung)
Effekt der Y-Einstellmutter:
●
Verschieben des Abdrucks nach unten -> Drehen der Y-Einstellmutter im Uhrzeigersinn.
●
Verschieben des Abdrucks nach oben -> Drehen der Y-Einstellmutter gegen den Uhrzeiger-
sinn.
► Nach erfolgter Korrektur halten Sie die Einstellmutter mit dem Gabelschlüssel in Position und
ziehen Sie die Konterschraube mit dem Inbusschlüssel an.
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8.4.5 Übersicht zur Offset Korrektur in X- und Y-Richtung
Segment Verschieben des
Abdrucks
Mechanische Korrektur Korrektur durch SW Eintrag
1 nach rechts (X) Drehen der X-Einstellmutter
gegen Uhrzeigersinn
negativer Offset Eintrag
nach links (X) Drehen der X-Einstellmutter im
Uhrzeigersinn
positiver Offset Eintrag
nach unten (Y) Drehen der Y-Einstellmutter im
Uhrzeigersinn
keine Korrektur per SW möglich
nach oben (Y) Drehen der Y-Einstellmutter
gegen den Uhrzeigersinn
keine Korrektur per SW möglich
2 nach rechts (X) Drehen der X-Einstellmutter im
Uhrzeigersinn
negativer Offset Eintrag
nach links (X) Drehen der X-Einstellmutter
gegen Uhrzeigersinn
positiver Offset Eintrag
nach unten (Y) Drehen der Y-Einstellmutter im
Uhrzeigersinn
keine Korrektur per SW möglich
nach oben (Y) Drehen der Y-Einstellmutter
gegen den Uhrzeigersinn
keine Korrektur per SW möglich