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12 Wafer-Stretcher 12.6 Einbau Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 303 Abb.424: ► Montieren Sie den Klemmzylinder mit der unteren Schraube (die Sensor-Labels am Klemmzy- linder befinden s…

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12.6 Einbau Wafer-Stretcher
302 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.422:
► Schieben Sie den Mitnehmerblock mitsamt dem kompletten Wafer-Stretcher zur Spindelmut-
ter und verschrauben Sie die Einheit mit den vier Inbusschrauben.
► Ziehen Sie die beiden Sechskantschrauben fest an.
ð Nun ist die Verbindung des Wafer-Stretcher zur X-Achsenspindel hergestellt!
Als nächstes werden die beiden Hubzylinder der Stretcher-Betätigung wie folgt montiert:
Abb.423:
► Montieren Sie den Hubzylinder inklusive der Buchse.

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Abb.424:
► Montieren Sie den Klemmzylinder mit der unteren Schraube (die Sensor-Labels am Klemmzy-
linder befinden sich dann oben).
► Die obere Schraube wird noch nicht montiert. Mit dieser Schraube wird später das Abdeck-
blech fixiert.
Abb.425:
► Schieben Sie den Wafer-Stretcher auf die andere Seite.
Achten Sie darauf, dass die noch immer ausgerollte Kabelkette und die Kabel sich nirgendwo
verhaken.
Achten Sie auch auf den Wafer-Wechsler (Greifer).

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12.6.3 Montage der Verbindungen
Abb.426:
► Rollen Sie die Kabelkette ein und verlegen Sie diese an die dafür vorgesehene Position.
Abb.427:
► Verlegen Sie den Pneumatikschlauch und schließen in an das Kupplungsstück an (1).
► Positionieren Sie das Kupplungsstück zwischen Montageblech und blauer Sensorsteuerung.
► Fixieren Sie den Zuleitungsschlauch mit einem Kabelbinder (2) am Abstandsbolzen.
► Verlegen Sie den Verbindungsschlauch zum SWS knickfrei um die beiden Abstandsbolzen.
► Fixieren Sie den Schlauch mit einem Kabelbinder (3).