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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch 88 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.81: ► Verschieben Sie den Wafertisch, bis der X-Motor mit der halbrunden Aussparung im Seiten- rahmen fluchtet! Abb.82…

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5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 87
Abb.79:
► Entfernen Sie die vier Inbus-Befestigungsschrauben (nicht die Kreuzschlitz-Schrauben!) der
Kupplungsplatte mit der Spindelplatte.
Abb.80:
► Entfernen Sie die beiden Klemmschrauben der Kupplung.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
88 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.81:
► Verschieben Sie den Wafertisch, bis der X-Motor mit der halbrunden Aussparung im Seiten-
rahmen fluchtet!
Abb.82:
► Entfernen Sie nun die beiden Befestigungsschrauben auf der Frontseite des Kupplungsge-
häuses.
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben auf der Rückseite mit einem kurzen (modifi-
zierten) Inbus-Schlüssel.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 89
Abb.83:
► Ziehen Sie den X-Motor inklusive der Kupplungsplatte nach hinten weg und heben Sie die
Einheit nach oben heraus!
Abb.84:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben des Motors.
HINWEIS
Es ist nicht zwingend notwendig, die Kabelbinder für die Motorkabel um das Motorenge-
häuse zu entfernen.