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8 Flip-Unit 8.3 Ersatzteile tauschen 182 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.234: Waferkamera ausbauen ► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben (1) der Waferkamera. Die drei Kamera- Befestigu…
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8.3 Ersatzteile tauschen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 181
8.3.4 Waferkamera an Flip-Unit ausbauen
Abb.233: Waferkamera – Flachbandkabel und Kamerastecker
HINWEIS
Waferkamera nur komplett tauschen
Die Waferkamera mit Halterung darf nur komplett getauscht werden. Die drei Kamera-
Befestigungsschrauben (4) sind versiegelt und dürfen nicht gelöst werden.
► Entfernen Sie die Abdeckung der Flip-Unit.
► Entfernen Sie den Abwurfbehälter und die darunter liegende Kabelabdeckung (1) inkl.
Schrauben.
► Ziehen Sie an der USB-Platine die beiden Flachbandkabel ab (2). Achten Sie auf die Verle-
gung der Flachbandkabel von der USB-Platine zur Waferkamera.
Der Anschluss Nr.1 ist für die Hellfeldplatine, der Anschluss Nr.2 ist für die Dunkelfeldplatine.
► Entfernen Sie den Kamerastecker (3) mit den drei Befestigungsschrauben. Mit der mittleren
ist noch ein Schirm mit eingeklemmt.
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8.3 Ersatzteile tauschen
182 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.234: Waferkamera ausbauen
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben (1) der Waferkamera. Die drei Kamera-
Befestigungsschrauben (3) sind versiegelt und dürfen nicht gelöst werden.
► Ziehen Sie die Kamera nach oben ab. Die Kamera sitzt auf zwei Passstiften (2).
► Setzen Sie die neue Waferkamera ein und befestigen Sie diese mit den zuvor entfernten
Schrauben.
► Montieren Sie den Kamerastecker. Am Kamerastecker ist mit der mittleren Schraube noch ein
Schirm mit eingeklemmt.
► Schließen Sie die Anschlüsse 1 und 2 an die USB-Platine an.
► Fädeln Sie beiden Flachbandkabel (Anschlüsse 1 und 2) wieder ein und stecken Sie diese an
der USB-Platine an. Achten Sie darauf, dass die Kontaktierung unten liegt.
8.3.4.1 Platine für Hellfeldbeleuchtung tauschen
Abb.235: Platine für Hellfeldbeleuchtung tauschen
► Entfernen Sie die Abdeckung (1) mit den vier Befestigungsschrauben.
► Entfernen Sie die beiden Schrauben der Platine (2). Achten Sie auf die darunter liegende
Streuscheibe.
► Ziehen Sie das Flachbandkabel von der Platine (2) ab.
► Montieren Sie die neue Platine.
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8.3 Ersatzteile tauschen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 183
8.3.4.2 Platine für Dunkelfeldbeleuchtung tauschen
Abb.236: Platine für Dunkelfeldbeleuchtung tauschen
► Demontieren Sie die Waferkamera soweit, dass Sie die Waferkamera umgedreht ablegen
können (siehe 8.3.4 "Waferkamera an Flip-Unit ausbauen" [}181]).
VORSICHT
Prismenspiegel nicht berühren
Der Prismenspiegel (3) sollte nicht berührt werden.
► Ist der Prismenspiegel verschmutzt, dann reinigen Sie diesen mit einem fusselfreiem
Tuch.
► Entfernen Sie die vier Schrauben der Abdeckplatte (1).
► Entfernen Sie die beiden Befestigungsschrauben der Streuscheibe (2) und heben Sie die
Streuscheibe ab.
► Entfernen Sie die beiden Schrauben der Platine.
► Ziehen Sie das Flachbandkabel von der Platine ab.
► Montieren Sie die neue Platine.