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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch 84 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 5.3.1.4 Notwendige Kalibrierung nach Y-Motorentausch ► Kalibrieren Sie den kompletten Wafertisch mithilfe der One-magic-butt…
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 83
Abb.71:
Abb.72:
► Schließen Sie die Y-Motorkabel an. Achten Sie dabei auf die orangen Adern SHL und HB.
Das eventuell dickere orange Kabel ist SHL und wird zur Schirmung verwendet!
► Montieren Sie das Abdeckblech.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
84 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
5.3.1.4 Notwendige Kalibrierung nach Y-Motorentausch
► Kalibrieren Sie den kompletten Wafertisch mithilfe der One-magic-button calibration.
Abb.73:
5.3.2 Tausch X-Motor
Voraussetzungen
●
Der Die-Ejector steht in der unteren sicheren Position.
●
Das SWS ist ausgeschaltet.
Vorbereitung
► Stützen Sie den Turm mit dem ausgeklappten Stützfuß ab.
► Schwenken Sie den Waferlift zur Seite.
5.3.2.1 Demontage X-Motor und Kupplung
► Ziehen Sie die komplette Wafertisch-Einheit in Richtung Waferlift!
Abb.74:
► Öffnen Sie die Kabelbinder!
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.3 Teiletausch
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 85
Abb.75:
► Entfernen Sie die beiden Niederhalter. Achten Sie dabei auf die Beilagscheiben!
Abb.76:
► Stecken Sie das Flachbandkabel der Encoder-Einheit des X-Motors ab.
► Stecken Sie die Kabel des Motors von der Platine (Platine AD-MOT Rev.0 Sub-D = abgewin-
kelt [00384600‑xx]) ab.
1 Motorkabel U weiß (WH)
2 Motorkabel V rot (RD)
3 Motorkabel W schwarz (BK) (dünn und glänzend)
Die Motoren-Kabel (1, 2 und 3) kommen in einer Gruppe aus dem Schrumpfschlauch.
4 PE Kabel Motor schwarz (BK) (dicker und matt)
Das PE Kabel Motor kommt separat aus dem Schrumpfschlauch.
5 5V Versorgungskabel Hall-Sensor blau (BU)
6 HA Spursignal Hall-Sensor braun (BN)
7 HB Spursignal Hall-Sensor orange (OR) (dünn)
8 HC Spursignal Hall-Sensor gelb (YE)
9 GND Hall-Sensor grün (GN)
10 Shield Ummantelung Hall-Sensor orange (OR) (dick)