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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung 13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen 360 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 13.3.3 Einbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen Tipp zum Einbau …

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13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 359
Abb.504:
► Vergleichen Sie alle Jumper auf der neuen Karte vor dem Einbau mit der alten Karte.
► Falls die neue GALIL-Karte noch keine LABEL für die Anschlüsse hat, versuchen Sie, die La-
bel der alten Karte auf die neue Karte zu übertragen.
13 BoxPC, GALIL-Karten und Achsansteuerung
13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
360 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
13.3.3 Einbau der Servoverstärker AMP-19540 im SWS-Rahmen
Tipp zum Einbau
Aufgrund der schwierigen Einbaulage wird es, wenn die Vakuumpumpe nicht ausgebaut wurde
(wie in unserem Beispiel), sehr schwierig, die GALIL-Karte anzuschrauben.
Abb.505:
► Nehmen Sie ein Blatt (Stück) Papier.
► Drücken Sie den Inbusschlüssel durch dieses Papier in die Inbusschraube.
► In unserem Beispiel ist das Loch im Papier nur zur Demonstration.
► Benutzen Sie einen gerade Inbus oder Kugelkopf. → Probieren Sie aus, welcher für Sie bes-
ser funktioniert.
ð Danach sollte die Schraube auf dem Inbusschlüssel halten und nicht herunterfallen. So
kann man die Schraube besser an unzugänglichen Bohrungen einsetzen.
Einbau der GALIL-Karte
Abb.506:
► Heben Sie die GALIL-Karte von oben in die dafür vorgesehene Position.
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13.3 Tausch der Servoverstärker für die Achsen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 361
► Richten Sie die GALIL-Karte so aus, dass die Bohrlöcher fluchten.
Abb.507:
► Schrauben Sie die vier Befestigungsschrauben inkl. Beilagscheiben in die dafür vorgesehe-
nen Löcher.
► Benutzen Sie das Papier zum Fixieren der Schrauben auf dem Inbusschlüssel.
► Ziehen Sie die vier Schrauben fest an.
Abb.508:
► Stellen Sie die Masseverbindung wieder her.