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15 Kalibrierung 15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung 414 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 – Die Position des Greifers vor dem Lift Die Magazinplatte wird vom Greifer berührt. – Die Position d…

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15 Kalibrierung
15.4 Kalibrierung des kompletten Wafer-Handling
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 413
Abb.596:
► Verschieben Sie den Wafer-Wechsler manuell zur mechanischen Verriegelung neben dem
Pipettenwechsler.
► Wählen Sie Calibrate zero point position. Dadurch wird die Nullpunktposition gespeichert.
► Wählen Sie Initialize. Danach wird die Achse initialisiert und die Kalibrierungsdaten werden
an die Software übertragen.
► Wählen Sie Calibration limits.
► Deaktivieren Sie den Setup-Modus.
Für diese Kalibrierung muss der Wafertisch mit Hilfe der Software in eine definierte Position
gefahren werden.
KEINE GEFAHR GEFÄHRLICHER VERLETZUNGEN
► Setup-Modus ist nicht aktiviert!
Maschinenhauben sind geschlossen!
Abb.597:
► Wählen Sie Calibrate lift and wafer table position.
ð Die folgenden Positionen werden kalibriert:
15 Kalibrierung
15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung
414 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
– Die Position des Greifers vor dem Lift
Die Magazinplatte wird vom Greifer berührt.
– Die Position des Rahmenhalterstiftes
Der Rahmenhalter auf dem Wafertisch wird vom Greifer berührt.
15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung
15.5.1 Maschinendaten
Abb.598:
Die Maschinendaten umfassen die Kalibrierungsdaten aller Maschinensubsysteme.
► Mit Archive machine data… können Sie diese Daten auf einem Flash-Laufwerk sichern.
Abb.599:
► Um die Sicherung wiederherzustellen wählen Sie den Restore machine data….
► Stecken das Flash-Laufwerk ein und wählen die gewünschte Sicherungsdatei aus.
► Wählen Sie Start.
15 Kalibrierung
15.5 SWS-Datensicherung und -Wiederherstellung
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 415
15.5.2 Produktdaten
Abb.600:
Die Produktdaten umfassen die Daten aller Kundenprodukte und Produktionsprozesse.
► Mit Archive product data… können Sie diese Daten auf einem Flash-Laufwerk sichern.
Abb.601:
► Um die Sicherung wiederherzustellen wählen Sie Restore product data….
► Stecken das Flash-Laufwerk ein und wählen die gewünschte Sicherungsdatei aus.
► Wählen Sie Start.