00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第262页
11 Ausbaugruppen 11.1 Wafer-Aufnahmen 262 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 11.1.3.4 Mitnehmer auf der Klemmung tauschen Der Mitnehmer ist der Aufsatz für zwei verschiedene Dicken der Wafer-Frames und w…
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 261
11.1.3.3 Die Breite der Waferaufnahme einstellen
Die Waferauflageleisten können je nach Waferrahmen in der Breite verstellt werden. Es sind zwei
verschiedene Positionen (Pin innen oder Pin außen) möglich.
Abb.352: Waferauflageleiste - Breite ändern
Beide Waferauflageleisten müssen gleich montiert werden. D.h. entweder beide Pins innen oder
beide Pins außen. In der Abbildung sehen Sie eine Waferauflageleiste mit einem Pin (2) außen.
► Entfernen Sie die Rändelschraube (1) an der Waferauflageleiste (3). Entfernen Sie beide Wa-
ferauflageleisten.
Der Pin (2) muss bei beiden Waferauflageleisten entweder innen oder außen liegen.
VORSICHT
Auf Pneumatikschläuche und Kabel achten
► Achten Sie auf Pneumatikschläuche und Kabel. Diese dürfen nicht geklemmt werden
oder scheuern.
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
262 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
11.1.3.4 Mitnehmer auf der Klemmung tauschen
Der Mitnehmer ist der Aufsatz für zwei verschiedene Dicken der Wafer-Frames und wird auf die
Klemmung montiert.
Abb.353: Mitnehmer der Klemmung wechseln
Zwei verschiedene Mitnehmer für Metall- und Kunststoff-Waferrahmen.
●
[00386221-xx] für dünne Metall-Waferrahmen
●
[00386560-xx] für dickere Kunststoff-Waferrahmen
► Entfernen Sie die beiden Schrauben des Mitnehmers auf der Klemmung und wechseln Sie
den Mitnehmer aus.
► Richten Sie den Mitnehmer mit den beiden Befestigungsschrauben mittig und parallel zum
Wafer-Rahmen aus (im Spiel der Bohrung).
11 Ausbaugruppen
11.1 Wafer-Aufnahmen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 263
11.1.3.5 Magnetventil für die Klemmung tauschen
Abb.354: Magnetventil für die Klemmung am Mitnehmer
Das Magnetventil OUT9 (1) öffnet und schließt die Klemmung am Mitnehmer (2).
► Stecken Sie die pneumatischen und elektrischen Anschlüsse am Magnetventil OUT9 ab.
► Entfernen Sie die drei Befestigungsschrauben und nehmen Sie das Magnetventil ab.
► Montieren Sie das Magnetventil und stellen Sie die pneumatischen und elektrischen
Anschlüsse wieder her.
► Überprüfen Sie das Magnetventil auf Funktion.
– Ein- und Ausschalten.
► Steuern Sie das Magnetventil an.
► Wählen Sie in der Ansichtenwerkzeugleiste den Button Manuelle Einstellungen
.
► Wählen Sie in der Ansicht Manuelle Einstellungen, den Button Manuelle Subsysteme
und wählen Sie IOs (siehe 14.2 "Manuelle Einstellungen" [}364]).
► Wählen Sie die Registerkarte Wafertable.
– DO09 Wafer clamp öffnet und schließt die Klemmung.
► Überprüfen Sie die Eingangssignale der Näherungsschalter.
– DI12 Wafer clamp open
– DI13 Wafer clamp closed
Über die Zuluftdrossel (3) stellen Sie die Reihenfolge der Klemmung ein. Der Mitnehmer muss zu-
erst klemmen, erst dann dürfen die vier Niederhalter schließen.