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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.3 Teiletausch Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 83 Abb.71: Abb.72: ► Schließen Sie die Y-Motorkabel an. Achten Sie dabei auf die orangen Adern SHL und HB. Das eventuell dick…
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5.3 Teiletausch
82 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.69:
► Ziehen Sie die vier Schrauben (2x Oberseite und 2x Unterseite) leicht an, so dass sich die
Kupplungsplatte noch bewegen kann. Sichern Sie die Schrauben mit Loctite 243.
Abb.70:
► Ziehen Sie die komplette Wafertisch-Einheit manuell in Richtung Y-Motor.
ð Nun richtet sich die Spindel mit der Kupplungsplatte selbst aus.
► Ziehen Sie die vier Befestigungsschrauben der Kupplungseinheit (2x Oberseite und 2x Unter-
seite) fest.
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Abb.71:
Abb.72:
► Schließen Sie die Y-Motorkabel an. Achten Sie dabei auf die orangen Adern SHL und HB.
Das eventuell dickere orange Kabel ist SHL und wird zur Schirmung verwendet!
► Montieren Sie das Abdeckblech.
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5.3.1.4 Notwendige Kalibrierung nach Y-Motorentausch
► Kalibrieren Sie den kompletten Wafertisch mithilfe der One-magic-button calibration.
Abb.73:
5.3.2 Tausch X-Motor
Voraussetzungen
●
Der Die-Ejector steht in der unteren sicheren Position.
●
Das SWS ist ausgeschaltet.
Vorbereitung
► Stützen Sie den Turm mit dem ausgeklappten Stützfuß ab.
► Schwenken Sie den Waferlift zur Seite.
5.3.2.1 Demontage X-Motor und Kupplung
► Ziehen Sie die komplette Wafertisch-Einheit in Richtung Waferlift!
Abb.74:
► Öffnen Sie die Kabelbinder!