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12 Wafer-Stretcher 12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 323 Niederhalter-Bleche montieren Abb.450: Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen ► Richten Si…

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12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
322 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Hubring montieren
Abb.449: Wafer-Aufnahme - Hubring montieren
► Legen Sie den Hubring (1) ein.
► Stecken Sie die vier Federn (3) in die vier Bohrungen.
► Stecken Sie die vier Fixierscheiben (2) auf.
► Befestigen Sie die Fixierscheiben mit den Befestigungsschrauben (4).
12 Wafer-Stretcher
12.7 Wafer-Stretcher – Konfigurationsänderungen
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 323
Niederhalter-Bleche montieren
Abb.450: Wafer-Aufnahme - Niederhalter-Blech ausbauen
► Richten Sie die Hubkolben mit dem Hilfstool (2) so aus, dass die Öffnungen nach außen zei-
gen.
► Legen Sie die Niederhalter-Bleche aus dem 12" Nachrüstsatz auf die Waferaufnahme.
► Legen Sie die konischen Fixierscheiben (3) in die Bohrungen ein.
► Schrauben Sie die Niederhalter-Bleche mit den Schrauben locker fest.
► Stecken Sie das Hilfstool (4) in die Öffnung und fixieren Sie damit den innen liegenden Hub-
kolben.
► Schrauben Sie die jeweils vier Schrauben (1) an den beiden Niederhalter-Blechen (5) fest.
12.7.3.4 Unterschiede beim Umbau von 12" auf 8
Die Sensoren müssen von der Waferaufnahme demontiert und auf die 8" Expansionsbleche mon-
tiert werden (siehe 12.7.3.3.3 "Hubring bei 8“-Waferstretcher entfernen" [}317]).
An der Klemmung muss der Klotz demontiert werden und anstelle der Klemmhebel eingehängt
werden (siehe 12.7.3.3.2 "Klemmung lösen" [}316]).
12 Wafer-Stretcher
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
324 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.8 Einstellung Durchhang-Sensor IN19
12.8.1 Generelle Information zum Durchhang-Sensor
12.8.1.1 Aufbau der Baugruppe Durchhang-Sensor
Abb.451:
Die Baugruppe Durchhang-Sensor besteht aus:
1. Sender S
2. Empfänger R
3. Auswerteeinheit Sensick WLL180T