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12 Wafer-Stretcher 12.6 Einbau Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 305 Abb.428: ► Montieren Sie den Anwesenheitssensor mit der Inbus-Senkschraube an die dafür vorgesehe- ne Stelle (1) . A…
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12.6 Einbau Wafer-Stretcher
304 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.6.3 Montage der Verbindungen
Abb.426:
► Rollen Sie die Kabelkette ein und verlegen Sie diese an die dafür vorgesehene Position.
Abb.427:
► Verlegen Sie den Pneumatikschlauch und schließen in an das Kupplungsstück an (1).
► Positionieren Sie das Kupplungsstück zwischen Montageblech und blauer Sensorsteuerung.
► Fixieren Sie den Zuleitungsschlauch mit einem Kabelbinder (2) am Abstandsbolzen.
► Verlegen Sie den Verbindungsschlauch zum SWS knickfrei um die beiden Abstandsbolzen.
► Fixieren Sie den Schlauch mit einem Kabelbinder (3).
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Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 305
Abb.428:
► Montieren Sie den Anwesenheitssensor mit der Inbus-Senkschraube an die dafür vorgesehe-
ne Stelle (1).
Achten Sie auf die Sensorausrichtung nach oben (2) (siehe Bild).
Die Montage erfolgt parallel zu den Kanten.
Abb.429:
► Montieren Sie den Kabelkanal mit den zwei Flachkopf-Linsenschrauben.
Abb.430:
► Verbinden Sie die Masseleitung.
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306 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
► Verbinden Sie den Stecker X11.
Abb.431:
► Montieren Sie das Abdeckblech mit den sechs Schrauben.
Verlegen Sie den Pneumatikanschluss wie im Bild zu sehen.
12.6.4 Montage Abdeckblech und Niederhaltebleche
Abb.432:
► Positionieren Sie den Wafer-Stretcher zur Waferlift-Seite hin.