00195981-03_SM_SWS_DE.pdf - 第192页
8 Flip-Unit 8.4 Kalibrierung – Flip-Unit 192 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 191
8.4.5 Übersicht zur Offset Korrektur in X- und Y-Richtung
Segment Verschieben des
Abdrucks
Mechanische Korrektur Korrektur durch SW Eintrag
1 nach rechts (X) Drehen der X-Einstellmutter
gegen Uhrzeigersinn
negativer Offset Eintrag
nach links (X) Drehen der X-Einstellmutter im
Uhrzeigersinn
positiver Offset Eintrag
nach unten (Y) Drehen der Y-Einstellmutter im
Uhrzeigersinn
keine Korrektur per SW möglich
nach oben (Y) Drehen der Y-Einstellmutter
gegen den Uhrzeigersinn
keine Korrektur per SW möglich
2 nach rechts (X) Drehen der X-Einstellmutter im
Uhrzeigersinn
negativer Offset Eintrag
nach links (X) Drehen der X-Einstellmutter
gegen Uhrzeigersinn
positiver Offset Eintrag
nach unten (Y) Drehen der Y-Einstellmutter im
Uhrzeigersinn
keine Korrektur per SW möglich
nach oben (Y) Drehen der Y-Einstellmutter
gegen den Uhrzeigersinn
keine Korrektur per SW möglich
8 Flip-Unit
8.4 Kalibrierung – Flip-Unit
192 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
9 Wafer-Wechsel-System
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 193
9 Wafer-Wechsel-System
Je nach Stellplatz gibt es zwei verschiedene Versionen, die sich jedoch nur durch die spiegelver-
kehrte Anordung der Baugruppen unterscheiden. Für den Greifer gibt es - zwei verschiedene Aus-
führungen für Stellplatz 1/3 und Stellplatz 2/4.
●
Wafer Wechsel System SWS12 (1/3) [00387216-xx]
●
Wafer Wechsel System SWS12 (2/4) [00386432-xx]
Abb.250: Wafer Wechsel System
1. Magazinlift
2. Greifer
3. Greifer-Abdeckung