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5 Grundrahmen – X/Y-Unit 5.2 Übersicht Gesamtaufbau Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 69 5.2.2 Aufbau und Ersatzteile – X/Y-Unit [00386776-xx] (Beispiel SWS 1/3) Diese Einheit ist für die Bewegung des W…

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5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
68 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
5.2.1 Aufbau und Ersatzteile – Grundrahmen [00386774-xx] (Beispiel SWS 1/3)
Diese Einheit ist für die Bewegung des Wafertisches in Y-Richtung zuständig.
Abb.45:
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung Anmerkung
1 00385645-xx Bürstenloser Cybermotor - Y-Achse
2 03106447-xx Spielfreie Elastomerkupplung d6,d10
3 0384600-xx Platine AD-MOT Rev.0 Sub-D = abgewinkelt Unter der Abdeckung
4 Kugelgewindetrieb und Lagereinheit
5 0386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE RL2
6 0386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE FL2
7 00379046-xx Adapter-Platine Wafertisch AD-WT Rev.0 Unter der Abdeckung
8 Covershield for Heating Unit (Stretcher) -->
Option
Die Ersatzteile für den
Grundrahmen SWS12 (1/3) [00386774-xx]
und den
Grundrahmen SWS12 (2/4) [00385830-xx]
sind identisch.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 69
5.2.2 Aufbau und Ersatzteile – X/Y-Unit [00386776-xx] (Beispiel SWS 1/3)
Diese Einheit ist für die Bewegung des Wafertisches in X-Richtung zuständig.
Abb.46:
Pos. Art.-Nr. Bezeichnung Anmerkung
1 00385072-xx Bürstenloser Cybermotor - X-Achse
2 03106447-xx Spielfreie Elastomerkupplung d6,d10
3 0384600-xx Platine AD-MOT Rev.0 Sub-D = abgewinkelt Unter der
Abdeckung
4 Kugelgewindetrieb und Lagereinheit
5 0386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE RL2
6 0386343-xx Näherungsschalter, induktive, PNP/1OE FL2
7 00379046-xx Adapter-Platine Wafertisch AD-WT Rev.0 Unter der
Abdeckung
8 Covershield for Heating Unit (Stretcher) --> Option
Die Ersatzteile für die
X/Y-Unit SWS12 (1,3) - [00386776-xx]
und die
X/Y-Unit SWS12 (2,4) - [00385864-xx]
sind identisch.
5 Grundrahmen – X/Y-Unit
5.2 Übersicht Gesamtaufbau
70 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
5.2.3 Überblick Sensoren
Abb.47:
Abb.48: