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12 Wafer-Stretcher 12.3 Vorbereitenden Maßnahmen zum Arbeiten am Wafer-Stretcher Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 283 Abb.384: ► Wechseln Sie in das Menü Product (1) . ► Wählen Sie das Menü Setup_Maga…
12 Wafer-Stretcher
12.3 Vorbereitenden Maßnahmen zum Arbeiten am Wafer-Stretcher
282 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.3 Vorbereitenden Maßnahmen zum Arbeiten am Wafer-
Stretcher
► Beenden Sie alle laufenden Vorgänge am SWS.
Abb.383:
► Wechseln Sie in die Ansicht Manuelle Bedienung (1).
► Wählen Sie Wafer-Handling-Systeme (2).
► Fahren Sie den Wafertisch mit dem Button Go to change position (3) in die Wechselposi-
tion.
ð Der Wafertisch fährt in die Wechselposition.
► Öffnen Sie die Klemmung des Wafer-Changer mit dem Button Open wafer clamp (4).
ð Die Klemmung des Wafer-Changers wird geöffnet und der Expansionsring (Stretcher) wird
nach unten gefahren.
► Öffnen Sie den Expander mit dem Button Release Stretcher (5).
ð Der Expander wird geöffnet und das Niederhalter-Blech wird nach oben gefahren.
12 Wafer-Stretcher
12.3 Vorbereitenden Maßnahmen zum Arbeiten am Wafer-Stretcher
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 283
Abb.384:
► Wechseln Sie in das Menü Product (1).
► Wählen Sie das Menü Setup_Magazin (2).
► Wählen Sie Remove Magazin (3).
ð Das Wafer-Magazin wird in die Entnahmeposition gefahren, so dass Sie Zugang zur Wa-
ferlift-Verriegelung haben!
► Beenden Sie die SWS-Software und fahren das SWS herunter.
► Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.
► Trennen Sie das SWS von der Stromversorgung.
► Bauen Sie das SWS aus der CA-Maschine aus!
► Öffnen Sie die Tür des Waferlifts mit einem Maschinenschlüssel.
► Öffnen Sie die Waferlift-Verriegelung.
► Stellen Sie den Stützfuß aus!
► Klappen Sie den Waferlift nach außen.
► Sehen Sie hierzu auch die vorbereitenden Maßnahmen im Kapitel Kalibrierung (15 "Kalibrie-
rung" [}367]).
VORSICHT
Während sämtlicher Servicearbeiten am Wafer-Stretcher muss der Wafertisch manuell ver-
schoben werden.
Beachten Sie hierbei folgendes:
●
Der Die-Ejector muss immer in der unteren Position stehen!
●
Beachten Sie stets den Greifer des Wafer-Changers, damit dieser nicht beschädigt wird.
●
Beim Arbeiten an der Waferaufnahme kann der Greifer beschädigt werden.
12 Wafer-Stretcher
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
284 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
12.4 Ausbau Wafer-Stretcher
Der Ausbau wird am Beispiel eines 12“-Wafer-Stretchers gezeigt. Die Vorgehensweise für 8“-
Wafer-Stretcher ist identisch.
12.4.1 Vorbereitungen zum Ausbau Wafer-Stretcher
► Führen Sie alle notwendigen Vorbereitungen durch!
1.1 "Sicherheitshinweise" [}13]
1.2 "Was vor Beginn der Arbeiten zu tun ist..." [}15]
12.4.2 Demontage Abdeckblech und Niederhalterbleche
Abb.385:
► Ziehen Sie den Wafer-Stretcher zum geöffneten Waferlift (weggeklappt) (2) und schieben Sie
den Wafer-Wechsler (Greifer) in die Parkposition(1).
Abb.386:
► Entfernen Sie die vier Befestigungsschrauben des linken (3) und rechten (4) Niederhalteble-
ches.
► Schieben Sie den Wechseltisch in eine geeignete Position, um Zugang zu den Aussparungen
der Hubkolben zu bekommen.
► Benutzen Sie hierzu das spezielle Hilfstool (Pilz) zur Verdrehsicherung der Hubkolben.