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10 Option Die-Attach-Unit SWS 10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS 244 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 Abb.324: ► Wählen Sie Finish . ð Die Die-Attach-Drehachse wird initialisiert. ð Wenn die K…
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 243
Abb.322:
Abb.323:
► Montieren Sie die Lehre zurück in die Original-Position.
► Wählen Sie Next.
ð Das folgende Fenster mit Step 4 erscheint.
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.1 Einbau der Option Die-Attach-Unit SWS
244 Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018
Abb.324:
► Wählen Sie Finish.
ð Die Die-Attach-Drehachse wird initialisiert.
ð Wenn die Kalibrierung korrekt durchgeführt wurde, dann muss nach der Initialisierung das
Segment in der oberen Transfer-Position stehen.
10.1.5.2 Kalibrierung der Die-Attach Transfer-X-Achse
► Wechseln Sie in den Bedienerlevel Service.
Abb.325:
► Wählen Sie das Service Menü und dann wählen Sie den Button für Transfer-X-Achse.
► Wählen Sie den Button Automatic calibration.
ð Die Kalibrierung der Transfer-X-Home-Position wird automatisch ausgeführt.
10 Option Die-Attach-Unit SWS
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS
Serviceanleitung SIPLACE Wafer System (SWS) 11/2018 245
10.2 Ausbau der Die-Attach-Unit aus dem SWS
Erforderliches Werkzeug
●
2,5mm Inbusschlüssel
Arbeitsschritte
► Fahren Sie das SWS in der GUI herunter.
► Schalten Sie das SWS am Hauptschalter aus.
Abb.326:
► Entfernen Sie die Abdeckung vom Die-Attach-Modul.